忆吴德馨老师
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我是1997年来到微电子所的(当时的单位名称还是“中国科学院微电子中心”),进入到吴老师的新型器件组。当时的办公室是在净化楼(现在的“王守武楼”)三楼。
面试的时候是在吴老师的办公室。第一次见吴老师,给我的印象是:这位女领导好精干!办公室干净整洁,窗明几净,办公桌一尘不染!但是交谈起来,给我的感觉是和蔼可亲。吴老师给我介绍了新型器件组的主要研究方向,也介绍了微电子所之前取得的一些成果。吴老师也询问了一些我的情况。经过了时间不长的面试,我就做了我的人生中一个重要的决定:进入微电子中心,加入吴老师的新型器件组!其实,我当时本来已经决定了去一个科研仪器公司,是来向微电子中心人事处的老师告辞的。但是人事处的宋燕杰老师说,吴老师看了我的简历,想和我聊聊,所以才有了这个面试环节。我想,是吴老师强大的人格魅力感染了我,让我马上就做出了留下来的决定!
吴老师在工作中非常认真,经常亲自到实验室查看实验结果,并询问实验细节,给出实验建议。当时的实验条件比较简陋,吴老师带领大家,自己完善实验环境。记得当时另外一个部门有一台干法刻蚀机到了报废状态,质量流量计等部件都已经失效。吴老师知道后说这个设备维修一下我们组还可以使用,然后亲自联系了维修质量流量计的师傅,进行了维修,并修复了其它部件,最终让这台设备重新运行了起来。还有一台热阻蒸发台也是这种情况,当时是吴老师带领我们从另外一个实验室的角落,翻出了这台设备,经过整修,也让这台设备能够继续为我们的实验发挥余热(上世纪九十年代)。
吴老师对于国家的设备资产相当爱护,当时课题组采购了一套HP的小信号测试系统(8510C),设备比较昂贵,为了保护这个“珍贵”的仪器,吴老师就把这台仪器放在自己的办公室,占用了好大的办公区域。
吴老师在科研工作中非常有创新精神,并且鼓励学生开拓思维,敢于探索。当时的电子束直写技术在半导体器件工艺中属于“贵族”工艺,吴老师就让大家思考怎样才能在工艺当中实现电子束直写工艺的高效使用,最后开发出了混合光刻技术,提高了整体工艺效率。
吴老师对待国家交给我们的研究任务一丝不苟,做课题研究非常严谨。当时做“九五”课题时,除了提前完成了项目中要求研究的HEMT器件结构之外,还研究了项目中没有要求的PHEMT器件。当时吴老师说:“既然我们提前完成了任务,我们就多做一些吧!”
吴老师经常教育我们对待工作要认真,给我印象最深的是有一次她和大家一起谈心,聊起当初那段特殊的时期,吴老师说:当年让我去打扫厕所,我想扫厕所就扫厕所,但是即使是让我去打扫厕所,我也要比别人打扫得都干净!!
“退休”后,本来以为吴老师可以歇一歇了,过一下普通人的悠闲生活,谁想到,她又在七十多岁的高龄,又一头扎进VCSEL激光器领域,创立了一个科研小组,并取得了令人瞩目的成绩!
吴老师非常关心年轻人的生活,她“退休”后,我们去看望她,她总是埋怨我们“怎么又买东西,你们的负担都很重,为什么还要为我花钱!我这里什么都不缺,你们来看我,我就已经很高兴了!”(写到这里,我已经满眼泪水……)和我们聊天时,总是不忘询问工作情况,单位的情况,课题的进展情况,个人家庭情况。每当听到我们个人取得的成绩、研究的进展的时候,她高兴的就像个孩子,脸上是灿烂的、慈祥的笑容。
还有很多事情,让我不断想起那位面带温暖笑容,鼓励着我们,关心着我们,慈祥的长者、人生的导师……
老师已去,给我们留下了宝贵的精神财富,让我们受益终生!
吴老师千古!
“投身半导体六十载,桃李天下,累累硕果,一心做科研;
心系微电子大半生,德技双馨,拳拳之心,无私献祖国!”
——献给敬爱的吴老师!
郑英奎
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