近日，微电子所健康电子中心黄成军研究员和毛海央研究员团队在纳米森林柔性湿度传感器方向取得新进展。现有湿度传感器在低湿条件下存在灵敏度低的问题，难以满足高精度检测要求。团队开发了一种基于碳量子点@纳米森林复合结构的新型湿敏材料，利用纳米森林的高孔隙率... 详细 >>
高低温电学测试探针台
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扫描电镜/原子力显...
键合对准及检测设备
晶圆级共晶键合设备
晶圆级扩散键合设备
化学机械平坦化设备
单片自动清洗设备
槽式自动清洗机
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原子层薄膜沉积设备
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SixGe1-x减压外延设备
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