国家自然科学基金委员会3月27日发布2024年度“中国科学十大进展”。本年度“中国科学十大进展”主要分布在数理天文信息、化学材料能源、地球环境和生命医学等科学领域。此项年度评选活动自2005年启动以来,已成功举办20届。2024年度“中国科学十大进展”是由相关学科... 详细 >>
高低温电学测试探针台
傅里叶红外光谱/多...
扫描电镜/原子力显...
键合对准及检测设备
晶圆级共晶键合设备
晶圆级扩散键合设备
化学机械平坦化设备
单片自动清洗设备
槽式自动清洗机
栅氧/多晶/退火卧...
RTP快速退火设备/...
超低能离子注入设...
原子层薄膜沉积设备
III-V MOCVD设备
SixGe1-x减压外延设备
金属蒸发镀膜设备
金属PVD溅射设备
介质CVD淀积设备
VHF/XeF 释放设备
深硅刻蚀机
介质/金属刻蚀机
接触式双面曝光机/...
20nm 电子束直写设...
0.18mm扫描式光刻...
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