序号 |
所属研究室 |
仪器名称 |
仪器型号 |
预约方式 |
区域中心内 收费标准 |
房间电话 |
联系人 |
1 |
一室 |
静态参数功率器件测试系统 |
TESEC 3620-TT |
网上预约 |
25元/支 |
净化楼三层 |
陆江 |
82995650 | |||||||
2 |
一室 |
动态参数测试系统 |
TESEC 3430-SW |
网上预约 |
600元/小时 |
净化楼三层 |
陆江 |
82995650 | |||||||
3 |
一室 |
热阻测试系统 |
TESEC 9424-KT |
网上预约 |
600元/小时 |
净化楼三层 |
陆江 |
82995650 | |||||||
4 |
一室 |
雪崩能量测试系统 |
TESEC 3702-LV |
网上预约 |
600元/小时 |
净化楼三层 |
陆江 |
82995650 | |||||||
5 |
一室 |
栅电荷测试系统 |
ITC 59100 |
网上预约 |
600元/小时 |
净化楼三层 |
陆江 |
82995650 | |||||||
6 |
一室 |
数字存储大功率半导体管特性图示仪 |
XJ4832 |
网上预约 |
20元/支 |
净化楼三层 |
陆江 |
82995650 | |||||||
7 |
一室 |
高低温试验箱 |
VTM7004 |
网上预约 |
600/小时 |
62007208 |
李晶 |
8 |
一室 |
半导体参数测试仪 |
4200 |
网上预约 |
600/小时 |
62007208 |
李晶 |
9 |
一室 |
手动探针台 |
PW-800 |
网上预约 |
600/小时 |
62007208 |
李晶 |
10 |
一室 |
半自动探针台 |
PA300 |
网上预约 |
800/小时(暂定) |
62007208 |
李晶 |
11 |
一室 |
示波器 |
MSO 4104型 |
网上预约 |
600/小时 |
62007208 |
李晶 |
12 |
一室 |
半导体参数测试系统 |
HP4061 |
网上预约 |
600/小时 |
62007208 |
李晶 |
13 |
一室 |
集成电路验证系统 |
HP93000 |
网上预约 |
800/小时(暂定) |
62007208 |
李晶 |
14 |
一室 |
集成电路验证系统 |
HP82000 |
网上预约 |
800/小时(暂定) |
62007208 |
李晶 |
15 |
一室 |
半导体参数测试仪 |
4200 |
网上预约 |
600/小时 |
62007208 |
李晶 |
16 |
所级实验平台 |
JEOL JBX- 6300FS电子束光刻系统 |
JEOL JBX- 6300FS |
网上预约 |
需要依照电子束曝光图形具体线条尺寸、密度,及占用机时确定收费 |
净化楼一层82995648 |
牛洁斌 |
17 |
所级实验平台 |
JEOL JBX- 5000LS电子束光刻系统 |
JEOL JBX- 5000LS |
网上预约 |
需要依照电子束曝光图形具体线条尺寸、密度,及占用机时确定收费 |
净化楼一层82995648 |
牛洁斌 |
18 |
三室 |
GCA 3600F Pattern Generator图形发生器 |
GCA 3600F |
需要依照掩模版图形具体线条尺寸、密度,以及掩模版尺寸、材料等确定收费 |
净化楼一层82995648 |
李友 | |
19 |
三室 |
GCA 3696 Photorepeater分步重复精缩机 |
GCA 3696 |
(按光学制版系统预约) | |||
20 |
三室 |
MEBES 4700S电子束掩模曝光系统 |
MEBES 4700S |
| |||
21 |
三室 |
原子层沉积薄膜制备系统 |
BENEQ TFS200 |
网上预约 |
暂定: |
净化楼一层 |
胡媛 |
(2011新增) |
开机费:200元 |
82995579 | |||||
|
HfO2:5元/1 ? |
| |||||
|
Al2O3:1元/1? |
| |||||
|
TiO2:0.5元/ 1? |
| |||||
22 |
三室 |
离子束溅射薄膜制备及刻蚀系统 |
定制 |
网上预约 |
暂定: |
净化楼一层 |
胡媛 |
(2011新增) |
开机费:300元 |
82995579 | |||||
|
HfO2:元/10 ? |
| |||||
|
Hf:元/10 ? |
| |||||
23 |
三室 |
双腔室电子束蒸发镀膜系统 |
DENTON Explorer 14改进型 |
网上预约 |
开机费:400元,Au:1元/1?、 |
净化楼一层 |
胡媛 |
Ag:1元/2?、 |
82995579 | ||||||
Al:1元/50?、Ti:1元/10?、SiO2:1元/10? |
| ||||||
24 |
三室 |
光学曝光机 |
SUSS MA6 |
网上预约 |
开机费:200元, |
净化楼一层 |
胡媛 |
曝光:150元/片 |
82995579 | ||||||
25 |
三室 |
相位调制型椭圆偏振光谱仪 |
Horiba Uvisel FUV |
网上预约 |
暂定: |
净化楼一层 |
胡媛 |
(2011新增) |
开机费:200元, |
82995579 | |||||
|
测试:30元/点 |
| |||||
26 |
三室 |
台阶仪 |
Dektak150 |
网上预约 |
测试:15元/点 |
净化楼一层 |
胡媛 |
82995579 | |||||||
27 |
三室 |
低温测试物性表征系统 |
Lake Shore TTP4 |
直接联系 |
根据测试需求确定收费 |
A706测试间 |
余兆安 |
82995582 | |||||||
28 |
三室 |
电学性能测试系统 |
Keithley4200 |
直接联系 |
根据测试需求确定收费 |
A706测试间 |
余兆安 |
82995582 | |||||||
29 |
四室 |
Loadpull在片测试系统 |
Tuner(MT982BU)、 |
网上预约 |
1000元/小时 |
82995800 |
李艳奎 |
信号源(HP83752B)、 |
开机费600元/次 | ||||||
功率计(Agilent E4417) |
校准400元/频点 | ||||||
频谱仪(HP8563E)、 |
| ||||||
直流源(HP4142、HP6624) |
| ||||||
探针台(Cascade 9K) |
| ||||||
30 |
四室 |
小信号在片测试系统 |
矢网(AgilentE8363B)、 |
网上预约 |
1000元/小时 |
82995800 |
李艳奎 |
直流源(Hp4142) |
开机费400元/次 | ||||||
探针台(SUSS PA200) |
| ||||||
31 |
四室 |
三毫米在片测试系统 |
矢网(HP8510C) |
网上预约 |
2000元/小时 |
82995800 |
李艳奎 |
信号源(AV1481) |
开机费600元/次 | ||||||
波控机(AV3640) |
| ||||||
谐波混频器(AV3645)、 |
| ||||||
探针台(SUSS PA200) |
| ||||||
32 |
四室 |
光电测试系统 |
误码分析仪(Agilent81250D) |
网上预约 |
600元/小时 |
82995800 |
李艳奎 |
宽带示波器(Agilent86100A) |
开机费300元/次 | ||||||
33 |
四室 |
C_V在片测试系统 |
LCR表(Agilent4284A) |
网上预约 |
500元/小时 |
82995800 |
李艳奎 |
开机费100元/次 | |||||||
34 |
四室 |
高低温在片测试系统 |
探针台(Cascade 12000) |
网上预约 |
200元/小时 |
82995800 |
李艳奎 |
温控(TP 03000) | |||||||
35 |
四室 |
微波功率晶体管老化系统 |
老化系统(中安电子BTW-E381) |
网上预约 |
|
82995800 |
李艳奎 |
冷水机(GW511C) | |||||||
36 |
四室 |
微波半导体脉冲测试系统 |
脉冲分析仪(华北集成电路NC4832) |
网上预约 |
500元/小时 |
82995800 |
李艳奎 |
开机费200元/次 | |||||||
37 |
八室 |
等离子增强化学气相沉积系统 |
HQ-2 |
直接联系 |
开机费500元+ |
010-82995842 |
刘淼 |
300元/样品 | |||||||
38 |
八室 |
原子力显微镜 |
Veeco Dimension D3100 AFM |
预约(可电话联系) |
265/点+开机费300元/次 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
39 |
八室 |
快速退火炉 |
AW810M |
预约(可电话联系) |
190元/小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
40 |
八室 |
激光共焦显微镜 |
OPLYMPUS LEXT OSL 4000 |
预约(可电话联系) |
200/小时+50元/次(开机) |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
41 |
八室 |
台阶仪 |
P6 |
预约(可电话联系) |
170元/小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
KLA-Tencor |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | |||||
42 |
八室 |
椭偏仪 |
UVISEL2 HORIBA |
预约(可电话联系) |
200/点+开机费200元 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
43 |
八室 |
四探针电阻测试仪 |
CRESBOX |
预约(可电话联系) |
180/小时, 130/样品 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
44 |
八室 |
同步热分析仪 |
STA449F3 |
预约(可电话联系) |
240元/小时+250元/次(开机) |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
45 |
八室 |
光学轮廓仪 |
MICRO XAM1200 |
预约(可电话联系) |
350元/小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
46 |
八室 |
傅立叶红外光谱仪 |
VERTEX 70V |
预约(可电话联系) |
170/小时,120/样 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
010-82995842 13426056217 |
| ||||||
010-82995842 13426056217 |
| ||||||
010-82995842 13426056217 |
| ||||||
47 |
八室 |
磁控溅射台 |
SP-3 |
预约(可电话联系) |
530/样+50元/100nm |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
48 |
八室 |
等离子体浸没式离子注入机 |
PIII-100 |
预约(可电话联系) |
580元/样品+300元/次(开机) |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
49 |
八室 |
紫外光刻机 |
URE-2000/A |
预约(可电话联系) |
450元/小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
50 |
八室 |
匀胶机 |
KW |
预约(可电话联系) |
AZ4620胶: 2寸或小于2寸片30元/片;4寸片80元/片;6寸片150元/片。普通胶: 30元/片。(此收费只针对单独涂胶工艺) |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
51 |
八室 |
硅片清洗机 |
SFQ-1508T |
预约(可电话联系) |
350元/小时+300(开机) |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
52 |
八室 |
旋转冲洗甩干机 |
CXS-2200B |
预约(可电话联系) |
115元/小时+100元(开机) |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
53 |
八室 |
零件超声清洗机 |
|
预约(可电话联系) |
120元/次 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
54 |
八室 |
高密度等离子体刻蚀机 |
KE-320 ICP |
预约(可电话联系) |
840 /炉+10元/片+600元(开机) |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
010-82995842 13426056217 |
| ||||||
55 |
八室 |
显微镜 |
奥林巴斯BX51 |
预约(可电话联系) |
65元\小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
56 |
八室 |
显微镜 |
奥林巴斯MX61 |
预约(可电话联系 |
95元/小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
010-82995842 13426056217 |
| ||||||
57 |
八室 |
太阳能电池IV测试仪 |
SOL3A |
预约(可电话联系 |
240/小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
58 |
八室 |
X射线衍射仪 |
X-RAY |
预约(可电话联系 |
360元/小时+200元开机 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
59 |
八室 |
霍尔效应测试仪 |
Hall 8800 |
预约(可电话联系 |
常温130元/样品 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
60 |
八室 |
电镀设备 |
自主研发 |
预约(电话联系 |
100元/样 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
61 |
八室 |
等离子体增强原子层沉积系统 |
PEALD |
预约(电话联系 |
(800 +50元/10nm)/炉+500元(开机) |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
62 |
八室 |
键合机 |
KBS-200S |
预约(电话联系 |
500元/样品+300元/次(开机) |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
(阳极、共晶等键合) |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | |||||
|
010-82995842 13426056217 |
| |||||
63 |
八室 |
全自动反射式薄膜测量仪 |
Film-100 |
预约(电话联系 |
350元/小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
65 |
八室 |
薄膜均匀性快速检测仪 |
CD-1000i |
预约(电话联系 |
350元/小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
66 |
八室 |
高精度电子天平 |
METTLER TOLEDO |
预约(电话联系 |
50元\小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
67 |
八室 |
可编程数字热板 |
Echo Therm |
预约(电话联系 |
65元/小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
68 |
八室 |
ICP刻蚀机 |
PVD-ICP |
预约(电话联系 |
110元/样+300开机 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
69 |
八室 |
晶圆颗粒检测样机 |
自主研发 |
预约(电话联系 |
550元/晶圆+500(开机) |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
38 |
八室 |
原子力显微镜 |
Veeco Dimension D3100 AFM |
预约(可电话联系) |
265/点+开机费300元/次 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
39 |
八室 |
快速退火炉 |
AW810M |
预约(可电话联系) |
190元/小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
40 |
八室 |
激光共焦显微镜 |
OPLYMPUS LEXT OSL 4000 |
预约(可电话联系) |
200/小时+50元/次(开机) |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
41 |
八室 |
台阶仪 |
P6 |
预约(可电话联系) |
170元/小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
KLA-Tencor |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | |||||
42 |
八室 |
椭偏仪 |
UVISEL2 HORIBA |
预约(可电话联系) |
200/点+开机费200元 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
43 |
八室 |
四探针电阻测试仪 |
CRESBOX |
预约(可电话联系) |
180/小时, 130/样品 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
44 |
八室 |
同步热分析仪 |
STA449F3 |
预约(可电话联系) |
240元/小时+250元/次(开机) |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
45 |
八室 |
光学轮廓仪 |
MICRO XAM1200 |
预约(可电话联系) |
350元/小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
46 |
八室 |
傅立叶红外光谱仪 |
VERTEX 70V |
预约(可电话联系) |
170/小时,120/样 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
010-82995842 13426056217 |
| ||||||
010-82995842 13426056217 |
| ||||||
010-82995842 13426056217 |
| ||||||
47 |
八室 |
磁控溅射台 |
SP-3 |
预约(可电话联系) |
530/样+50元/100nm |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
48 |
八室 |
等离子体浸没式离子注入机 |
PIII-100 |
预约(可电话联系) |
580元/样品+300元/次(开机) |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
49 |
八室 |
紫外光刻机 |
URE-2000/A |
预约(可电话联系) |
450元/小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
50 |
八室 |
匀胶机 |
KW |
预约(可电话联系) |
AZ4620胶: 2寸或小于2寸片30元/片;4寸片80元/片;6寸片150元/片。普通胶: 30元/片。(此收费只针对单独涂胶工艺) |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
51 |
八室 |
硅片清洗机 |
SFQ-1508T |
预约(可电话联系) |
350元/小时+300(开机) |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
52 |
八室 |
旋转冲洗甩干机 |
CXS-2200B |
预约(可电话联系) |
115元/小时+100元(开机) |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
53 |
八室 |
零件超声清洗机 |
|
预约(可电话联系) |
120元/次 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
54 |
八室 |
高密度等离子体刻蚀机 |
KE-320 ICP |
预约(可电话联系) |
840 /炉+10元/片+600元(开机) |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
010-82995842 13426056217 |
| ||||||
55 |
八室 |
显微镜 |
奥林巴斯BX51 |
预约(可电话联系) |
65元\小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
56 |
八室 |
显微镜 |
奥林巴斯MX61 |
预约(可电话联系 |
95元/小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
010-82995842 13426056217 |
| ||||||
57 |
八室 |
太阳能电池IV测试仪 |
SOL3A |
预约(可电话联系 |
240/小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
58 |
八室 |
X射线衍射仪 |
X-RAY |
预约(可电话联系 |
360元/小时+200元开机 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
59 |
八室 |
霍尔效应测试仪 |
Hall 8800 |
预约(可电话联系 |
常温130元/样品 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
60 |
八室 |
电镀设备 |
自主研发 |
预约(电话联系 |
100元/样 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
61 |
八室 |
等离子体增强原子层沉积系统 |
PEALD |
预约(电话联系 |
(800 +50元/10nm)/炉+500元(开机) |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
62 |
八室 |
键合机 |
KBS-200S |
预约(电话联系 |
500元/样品+300元/次(开机) |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
(阳极、共晶等键合) |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | |||||
|
010-82995842 13426056217 |
| |||||
63 |
八室 |
全自动反射式薄膜测量仪 |
Film-100 |
预约(电话联系 |
350元/小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
65 |
八室 |
薄膜均匀性快速检测仪 |
CD-1000i |
预约(电话联系 |
350元/小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
66 |
八室 |
高精度电子天平 |
METTLER TOLEDO |
预约(电话联系 |
50元\小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
67 |
八室 |
可编程数字热板 |
Echo Therm |
预约(电话联系 |
65元/小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
68 |
八室 |
ICP刻蚀机 |
PVD-ICP |
预约(电话联系 |
110元/样+300开机 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
69 |
八室 |
晶圆颗粒检测样机 |
自主研发 |
预约(电话联系 |
550元/晶圆+500(开机) |
010-82995842 |
邢建鹏 |
13426056217 |
任爱 | ||||||
70 |
十室 |
高温扩散炉 |
BTU |
直接联系 |
氧化2000元/炉;推进3000元/炉 |
82995561 |
蒋浩杰 |
71 |
十室 |
CVD扩散炉 |
G---2627 |
直接联系 |
2000元/炉 |
82995561 |
蒋浩杰 |
72 |
十室 |
扩散炉 |
ASM-250 |
直接联系 |
LTO:3000元/炉;POLY;3000元/炉;TEOS:2500元/炉 |
82995561 |
蒋浩杰 |
73 |
十室 |
LPCVD扩散炉 |
TEMPRESS |
直接联系 |
POLY;3000元/炉;氮化硅:2000元/炉 |
82995560 |
蒋浩杰 |
74 |
十室 |
平板CVD炉 |
AMP-3300 |
直接联系 |
PESIN:2000元/炉;PESIO:1500元/炉 |
82995560 |
蒋浩杰 |
75 |
十室 |
膜厚仪 |
NANOSPEC/AFT |
直接联系 |
一点50元 |
82995560 |
蒋浩杰 |
76 |
十室 |
椭偏仪 |
GES5E |
直接联系 |
常规:一点50;其他高K材料或多层膜500元/点 |
82995560 |
蒋浩杰 |
77 |
十室 |
干法刻蚀机 |
Rainbow4420 |
直接联系 |
150元每片 |
8299-5794 |
赵玉印 |
78 |
十室 |
干法刻蚀机 |
Rainbow4520 |
直接联系 |
150元每片 |
8299-5794 |
赵玉印 |
79 |
十室 |
溅射台 |
Varian3180 |
直接联系 |
75元每片 |
82995561 |
张浩 |
82995794 | |||||||
80 |
十室 |
溅射台 |
MLH-2306 RDE |
直接联系 |
150元每片 |
82995561 |
柴淑敏 |
82995794 |
张浩 | ||||||
81 |
十室 |
注入机 |
IM-200 |
直接联系 |
150元每片 |
82995560 |
刘金彪 |
82995793 |
张浩 | ||||||
82995794 |
公共技术服务中心