|
序号 |
所属研究室 |
仪器名称 |
仪器型号 |
预约方式 |
区域中心内收费标准 |
房间电话 |
联系人 |
|
1 |
一室 |
静态参数功率器件测试系统 |
TESEC 3620-TT |
网上预约 |
25 元 / 支 |
净化楼三层 |
陆江 |
|
82995650 | |||||||
|
2 |
一室 |
动态参数测试系统 |
TESEC 3430-SW |
网上预约 |
600 元 / 小时 |
净化楼三层 |
陆江 |
|
82995650 | |||||||
|
3 |
一室 |
热阻测试系统 |
TESEC 9424-KT |
网上预约 |
600 元 / 小时 |
净化楼三层 |
陆江 |
|
82995650 | |||||||
|
4 |
一室 |
雪崩能量测试系统 |
TESEC 3702-LV |
网上预约 |
600 元 / 小时 |
净化楼三层 |
陆江 |
|
82995650 | |||||||
|
5 |
一室 |
栅电荷测试系统 |
ITC 59100 |
网上预约 |
600 元 / 小时 |
净化楼三层 |
陆江 |
|
82995650 | |||||||
|
6 |
一室 |
数字存储大功率半导体管特性图示仪 |
XJ4832 |
网上预约 |
20 元 / 支 |
净化楼三层 |
陆江 |
|
82995650 | |||||||
|
7 |
一室 |
高低温试验箱 |
VTM7004 |
网上预约 |
600/ 小时 |
62007208 |
李晶 |
|
8 |
一室 |
半导体参数测试仪 |
4200 |
网上预约 |
600/ 小时 |
62007208 |
李晶 |
|
9 |
一室 |
手动探针台 |
PW-800 |
网上预约 |
600/ 小时 |
62007208 |
李晶 |
|
10 |
一室 |
半自动探针台 |
PA300 |
网上预约 |
800/ 小时（暂定） |
62007208 |
李晶 |
|
11 |
一室 |
示波器 |
MSO 4104 型 |
网上预约 |
600/ 小时 |
62007208 |
李晶 |
|
12 |
一室 |
半导体参数测试系统 |
HP4061 |
网上预约 |
600/ 小时 |
62007208 |
李晶 |
|
13 |
一室 |
集成电路验证系统 |
HP93000 |
网上预约 |
800/ 小时（暂定） |
62007208 |
李晶 |
|
14 |
一室 |
集成电路验证系统 |
HP82000 |
网上预约 |
800/ 小时（暂定） |
62007208 |
李晶 |
|
15 |
一室 |
半导体参数测试仪 |
4200 |
网上预约 |
600/ 小时 |
62007208 |
李晶 |
|
16 |
所级实验平台 |
JEOL JBX- 6300FS 电子束光刻系统 |
JEOL JBX- 6300FS |
网上预约 |
需要依照电子束曝光图形具体线条尺寸、密度，及占用机时确定收费 |
净化楼一层 82995648 |
牛洁斌 |
|
17 |
所级实验平台 |
JEOL JBX- 5000LS 电子束光刻系统 |
JEOL JBX- 5000LS |
网上预约 |
需要依照电子束曝光图形具体线条尺寸、密度，及占用机时确定收费 |
净化楼一层 82995648 |
牛洁斌 |
|
18 |
三室 |
GCA 3600F Pattern Generator 图形发生器 |
GCA 3600F |
|
需要依照掩模版图形具体线条尺寸、密度，以及掩模版尺寸、材料等确定收费 |
净化楼一层 82995648 |
李友 |
|
19 |
三室 |
GCA 3696 Photorepeater 分步重复精缩机 |
GCA 3696 |
（按光学制版系统预约） | |||
|
20 |
三室 |
MEBES 4700S 电子束掩模曝光系统 |
MEBES 4700S |
||||
|
21 |
三室 |
原子层沉积薄膜制备系统 |
BENEQ TFS200 |
网上预约 |
暂定： |
净化楼一层 |
胡媛 |
|
（ 2011 新增） |
开机费： 200 元 |
82995579 | |||||
|
HfO2 ： 5 元 /1 ？ |
|||||||
|
Al2O3 ： 1 元 /1？ |
|||||||
|
TiO2 ： 0.5 元 / 1？ |
|||||||
|
22 |
三室 |
离子束溅射薄膜制备及刻蚀系统 |
定制 |
网上预约 |
暂定： |
净化楼一层 |
胡媛 |
|
（ 2011 新增） |
开机费： 300 元 |
82995579 | |||||
|
HfO2 ：元 /10 ？ |
|||||||
|
Hf ：元 /10 ？ |
|||||||
|
23 |
三室 |
双腔室电子束蒸发镀膜系统 |
DENTON Explorer 14 改进型 |
网上预约 |
开机费： 400 元， Au ： 1 元 /1？ 、 |
净化楼一层 |
胡媛 |
|
Ag ： 1 元 /2？ 、 |
82995579 | ||||||
|
Al ： 1 元 /50？ 、 Ti ： 1 元 /10？ 、 SiO2 ： 1 元 /10？ |
|||||||
|
24 |
三室 |
光学曝光机 |
SUSS MA6 |
网上预约 |
开机费： 200 元， |
净化楼一层 |
胡媛 |
|
曝光： 150 元 / 片 |
82995579 | ||||||
|
25 |
三室 |
相位调制型椭圆偏振光谱仪 |
Horiba Uvisel FUV |
网上预约 |
暂定： |
净化楼一层 |
胡媛 |
|
（ 2011 新增） |
开机费： 200 元， |
82995579 | |||||
|
测试： 30 元 / 点 |
|||||||
|
26 |
三室 |
台阶仪 |
Dektak150 |
网上预约 |
测试： 15 元 / 点 |
净化楼一层 |
胡媛 |
|
82995579 | |||||||
|
27 |
三室 |
低温测试物性表征系统 |
Lake Shore TTP4 |
直接联系 |
根据测试需求确定收费 |
A706 测试间 |
余兆安 |
|
82995582 | |||||||
|
28 |
三室 |
电学性能测试系统 |
Keithley4200 |
直接联系 |
根据测试需求确定收费 |
A706 测试间 |
余兆安 |
|
82995582 | |||||||
|
29 |
四室 |
Loadpull 在片测试系统 |
Tuner（MT982BU ）、 |
网上预约 |
1000 元 / 小时 |
82995800 |
李艳奎 |
|
信号源（ HP83752B ）、 |
开机费 600 元 / 次 | ||||||
|
功率计（ Agilent E4417) |
校准 400 元 / 频点 | ||||||
|
频谱仪（ HP8563E ）、 |
|||||||
|
直流源（ HP4142 、 HP6624 ） |
|||||||
|
探针台（ Cascade 9K ） |
|||||||
|
30 |
四室 |
小信号在片测试系统 |
矢网（ AgilentE8363B ）、 |
网上预约 |
1000 元 / 小时 |
82995800 |
李艳奎 |
|
直流源（ Hp4142 ） |
开机费 400 元 / 次 | ||||||
|
探针台（ SUSS PA200 ） |
|||||||
|
31 |
四室 |
三毫米在片测试系统 |
矢网（ HP8510C ） |
网上预约 |
2000 元 / 小时 |
82995800 |
李艳奎 |
|
信号源（ AV1481 ） |
开机费 600 元 / 次 | ||||||
|
波控机（ AV3640 ） |
|||||||
|
谐波混频器（ AV3645 ）、 |
|||||||
|
探针台（ SUSS PA200 ） |
|||||||
|
32 |
四室 |
光电测试系统 |
误码分析仪（ Agilent81250D ） |
网上预约 |
600 元 / 小时 |
82995800 |
李艳奎 |
|
宽带示波器（ Agilent86100A ） |
开机费 300 元 / 次 | ||||||
|
33 |
四室 |
C_V 在片测试系统 |
LCR 表（ Agilent4284A ） |
网上预约 |
500 元 / 小时 |
82995800 |
李艳奎 |
|
开机费 100 元 / 次 | |||||||
|
34 |
四室 |
高低温在片测试系统 |
探针台（ Cascade 12000 ） |
网上预约 |
200 元 / 小时 |
82995800 |
李艳奎 |
|
温控（ TP 03000 ） | |||||||
|
35 |
四室 |
微波功率晶体管老化系统 |
老化系统（中安电子 BTW-E381 ） |
网上预约 |
82995800 |
李艳奎 | |
|
冷水机（ GW511C ） | |||||||
|
36 |
四室 |
微波半导体脉冲测试系统 |
脉冲分析仪（华北集成电路 NC4832 ） |
网上预约 |
500 元 / 小时 |
82995800 |
李艳奎 |
|
开机费 200 元 / 次 | |||||||
|
37 |
八室 |
等离子增强化学气相沉积系统 |
HQ-2 |
直接联系 |
开机费 500 元 + |
010-82995842 |
刘淼 |
|
300 元 / 样品 | |||||||
|
38 |
八室 |
原子力显微镜 |
Veeco Dimension D3100 AFM |
预约（可电话联系） |
265/ 点 + 开机费 300 元 / 次 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
|
39 |
八室 |
快速退火炉 |
AW810M |
预约（可电话联系） |
190 元 / 小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
|
40 |
八室 |
激光共焦显微镜 |
OPLYMPUS LEXT OSL 4000 |
预约（可电话联系） |
200/ 小时 +50 元 / 次（开机） |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
|
41 |
八室 |
台阶仪 |
P6 |
预约（可电话联系） |
170 元 / 小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
KLA-Tencor |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | |||||
|
42 |
八室 |
椭偏仪 |
UVISEL2 HORIBA |
预约（可电话联系） |
200/ 点 + 开机费 200 元 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
|
43 |
八室 |
四探针电阻测试仪 |
CRESBOX |
预约（可电话联系） |
180/ 小时 , 130/ 样品 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
|
44 |
八室 |
同步热分析仪 |
STA449F3 |
预约（可电话联系） |
240 元 / 小时 +250 元 / 次（开机） |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
|
45 |
八室 |
光学轮廓仪 |
MICRO XAM1200 |
预约（可电话联系） |
350 元 / 小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
|
46 |
八室 |
傅立叶红外光谱仪 |
VERTEX 70V |
预约（可电话联系） |
170/ 小时 ,120/ 样 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
|
010-82995842 13426056217 |
|||||||
|
010-82995842 13426056217 |
|||||||
|
010-82995842 13426056217 |
|||||||
|
47 |
八室 |
磁控溅射台 |
SP-3 |
预约（可电话联系） |
530/ 样 +50 元 /100nm |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
|
48 |
八室 |
等离子体浸没式离子注入机 |
PIII-100 |
预约（可电话联系） |
580 元 / 样品 +300 元 / 次（开机） |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
|
49 |
八室 |
紫外光刻机 |
URE-2000/A |
预约（可电话联系） |
450 元 / 小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
|
50 |
八室 |
匀胶机 |
KW |
预约（可电话联系） |
AZ4620 胶 : 2 寸或小于 2 寸片 30 元 / 片； 4 寸片 80 元 / 片； 6 寸片 150 元 / 片。普通胶 : 30 元 / 片。（此收费只针对单独涂胶工艺） |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
|
51 |
八室 |
硅片清洗机 |
SFQ-1508T |
预约（可电话联系） |
350 元 / 小时 +300 （开机） |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
|
52 |
八室 |
旋转冲洗甩干机 |
CXS-2200B |
预约（可电话联系） |
115 元 / 小时 +100 元（开机） |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
|
53 |
八室 |
零件超声清洗机 |
预约（可电话联系） |
120 元 / 次 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 | |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
|
54 |
八室 |
高密度等离子体刻蚀机 |
KE-320 ICP |
预约（可电话联系） |
840 / 炉 +10 元 / 片 +600 元（开机） |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
|
010-82995842 13426056217 |
|||||||
|
55 |
八室 |
显微镜 |
奥林巴斯 BX51 |
预约（可电话联系） |
65 元 \ 小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
|
56 |
八室 |
显微镜 |
奥林巴斯 MX61 |
预约（可电话联系 |
95 元 / 小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
|
010-82995842 13426056217 |
|||||||
|
57 |
八室 |
太阳能电池 IV 测试仪 |
SOL3A |
预约（可电话联系 |
240/ 小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
|
58 |
八室 |
X 射线衍射仪 |
X-RAY |
预约（可电话联系 |
360 元 / 小时 +200 元开机 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
|
59 |
八室 |
霍尔效应测试仪 |
Hall 8800 |
预约（可电话联系 |
常温 130 元 / 样品 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
|
60 |
八室 |
电镀设备 |
自主研发 |
预约（电话联系 |
100 元 / 样 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
|
61 |
八室 |
等离子体增强原子层沉积系统 |
PEALD |
预约（电话联系 |
（ 800 +50 元 /10nm ） / 炉 +500 元（开机） |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
|
62 |
八室 |
键合机 |
KBS-200S |
预约（电话联系 |
500 元 / 样品 +300 元 / 次（开机） |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
（阳极、共晶等键合） |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | |||||
|
010-82995842 13426056217 |
|||||||
|
63 |
八室 |
全自动反射式薄膜测量仪 |
Film-100 |
预约（电话联系 |
350 元 / 小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
|
65 |
八室 |
薄膜均匀性快速检测仪 |
CD-1000i |
预约（电话联系 |
350 元 / 小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
|
66 |
八室 |
高精度电子天平 |
METTLER TOLEDO |
预约（电话联系 |
50 元 \ 小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
|
67 |
八室 |
可编程数字热板 |
Echo Therm |
预约（电话联系 |
65 元 / 小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
|
68 |
八室 |
ICP 刻蚀机 |
PVD-ICP |
预约（电话联系 |
110 元 / 样 +300 开机 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
|
69 |
八室 |
晶圆颗粒检测样机 |
自主研发 |
预约（电话联系 |
550 元 / 晶圆 +500 （开机） |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
|
38 |
八室 |
原子力显微镜 |
Veeco Dimension D3100 AFM |
预约（可电话联系） |
265/ 点 + 开机费 300 元 / 次 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
|
39 |
八室 |
快速退火炉 |
AW810M |
预约（可电话联系） |
190 元 / 小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
|
40 |
八室 |
激光共焦显微镜 |
OPLYMPUS LEXT OSL 4000 |
预约（可电话联系） |
200/ 小时 +50 元 / 次（开机） |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
|
41 |
八室 |
台阶仪 |
P6 |
预约（可电话联系） |
170 元 / 小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
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KLA-Tencor |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | |||||
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42 |
八室 |
椭偏仪 |
UVISEL2 HORIBA |
预约（可电话联系） |
200/ 点 + 开机费 200 元 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
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43 |
八室 |
四探针电阻测试仪 |
CRESBOX |
预约（可电话联系） |
180/ 小时 , 130/ 样品 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
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010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
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44 |
八室 |
同步热分析仪 |
STA449F3 |
预约（可电话联系） |
240 元 / 小时 +250 元 / 次（开机） |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
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010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
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45 |
八室 |
光学轮廓仪 |
MICRO XAM1200 |
预约（可电话联系） |
350 元 / 小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
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010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
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46 |
八室 |
傅立叶红外光谱仪 |
VERTEX 70V |
预约（可电话联系） |
170/ 小时 ,120/ 样 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
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010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
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010-82995842 13426056217 |
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010-82995842 13426056217 |
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010-82995842 13426056217 |
|||||||
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47 |
八室 |
磁控溅射台 |
SP-3 |
预约（可电话联系） |
530/ 样 +50 元 /100nm |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
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010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
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48 |
八室 |
等离子体浸没式离子注入机 |
PIII-100 |
预约（可电话联系） |
580 元 / 样品 +300 元 / 次（开机） |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
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010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
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49 |
八室 |
紫外光刻机 |
URE-2000/A |
预约（可电话联系） |
450 元 / 小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
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010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
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50 |
八室 |
匀胶机 |
KW |
预约（可电话联系） |
AZ4620 胶 : 2 寸或小于 2 寸片 30 元 / 片； 4 寸片 80 元 / 片； 6 寸片 150 元 / 片。普通胶 : 30 元 / 片。（此收费只针对单独涂胶工艺） |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
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010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
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51 |
八室 |
硅片清洗机 |
SFQ-1508T |
预约（可电话联系） |
350 元 / 小时 +300 （开机） |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
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010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
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52 |
八室 |
旋转冲洗甩干机 |
CXS-2200B |
预约（可电话联系） |
115 元 / 小时 +100 元（开机） |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
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010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
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53 |
八室 |
零件超声清洗机 |
预约（可电话联系） |
120 元 / 次 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 | |
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010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
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54 |
八室 |
高密度等离子体刻蚀机 |
KE-320 ICP |
预约（可电话联系） |
840 / 炉 +10 元 / 片 +600 元（开机） |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
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010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
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010-82995842 13426056217 |
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55 |
八室 |
显微镜 |
奥林巴斯 BX51 |
预约（可电话联系） |
65 元 \ 小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
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010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
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56 |
八室 |
显微镜 |
奥林巴斯 MX61 |
预约（可电话联系 |
95 元 / 小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
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010-82995842 13426056217 |
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57 |
八室 |
太阳能电池 IV 测试仪 |
SOL3A |
预约（可电话联系 |
240/ 小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
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58 |
八室 |
X 射线衍射仪 |
X-RAY |
预约（可电话联系 |
360 元 / 小时 +200 元开机 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
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59 |
八室 |
霍尔效应测试仪 |
Hall 8800 |
预约（可电话联系 |
常温 130 元 / 样品 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
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60 |
八室 |
电镀设备 |
自主研发 |
预约（电话联系 |
100 元 / 样 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
|
61 |
八室 |
等离子体增强原子层沉积系统 |
PEALD |
预约（电话联系 |
（ 800 +50 元 /10nm ） / 炉 +500 元（开机） |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
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62 |
八室 |
键合机 |
KBS-200S |
预约（电话联系 |
500 元 / 样品 +300 元 / 次（开机） |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
（阳极、共晶等键合） |
010-82995842 13426056217 |
任爱 | |||||
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010-82995842 13426056217 |
|||||||
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63 |
八室 |
全自动反射式薄膜测量仪 |
Film-100 |
预约（电话联系 |
350 元 / 小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
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65 |
八室 |
薄膜均匀性快速检测仪 |
CD-1000i |
预约（电话联系 |
350 元 / 小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
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66 |
八室 |
高精度电子天平 |
METTLER TOLEDO |
预约（电话联系 |
50 元 \ 小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
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67 |
八室 |
可编程数字热板 |
Echo Therm |
预约（电话联系 |
65 元 / 小时 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
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68 |
八室 |
ICP 刻蚀机 |
PVD-ICP |
预约（电话联系 |
110 元 / 样 +300 开机 |
010-82995842 13426056217 |
邢建鹏 |
|
010-82995842 13426056217 |
任爱 | ||||||
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69 |
八室 |
晶圆颗粒检测样机 |
自主研发 |
预约（电话联系 |
550 元 / 晶圆 +500 （开机） |
010-82995842 |
邢建鹏 |
|
13426056217 |
任爱 | ||||||
|
70 |
十室 |
高温扩散炉 |
BTU |
直接联系 |
氧化 2000 元 / 炉；推进 3000 元 / 炉 |
82995561 |
蒋浩杰 |
|
71 |
十室 |
CVD 扩散炉 |
G---2627 |
直接联系 |
2000 元 / 炉 |
82995561 |
蒋浩杰 |
|
72 |
十室 |
扩散炉 |
ASM-250 |
直接联系 |
LTO:3000 元 / 炉； POLY ； 3000 元 / 炉； TEOS:2500 元 / 炉 |
82995561 |
蒋浩杰 |
|
73 |
十室 |
LPCVD 扩散炉 |
TEMPRESS |
直接联系 |
POLY ； 3000 元 / 炉；氮化硅： 2000 元 / 炉 |
82995560 |
蒋浩杰 |
|
74 |
十室 |
平板 CVD 炉 |
AMP-3300 |
直接联系 |
PESIN:2000 元 / 炉； PESIO:1500 元 / 炉 |
82995560 |
蒋浩杰 |
|
75 |
十室 |
膜厚仪 |
NANOSPEC/AFT |
直接联系 |
一点 50 元 |
82995560 |
蒋浩杰 |
|
76 |
十室 |
椭偏仪 |
GES5E |
直接联系 |
常规：一点 50 ；其他高 K 材料或多层膜 500 元 / 点 |
82995560 |
蒋浩杰 |
|
77 |
十室 |
干法刻蚀机 |
Rainbow4420 |
直接联系 |
150 元每片 |
8299-5794 |
赵玉印 |
|
78 |
十室 |
干法刻蚀机 |
Rainbow4520 |
直接联系 |
150 元每片 |
8299-5794 |
赵玉印 |
|
79 |
十室 |
溅射台 |
Varian3180 |
直接联系 |
75 元每片 |
82995561 |
张浩 |
|
82995794 | |||||||
|
80 |
十室 |
溅射台 |
MLH-2306 RDE |
直接联系 |
150 元每片 |
82995561 |
柴淑敏 |
|
82995794 |
张浩 | ||||||
|
81 |
十室 |
注入机 |
IM-200 |
直接联系 |
150 元每片 |
82995560 |
刘金彪 |
|
82995793 |
张浩 | ||||||
|
82995794 |
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