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硅器件技术重点实验室
 
 

部门概况
 
  定位:

  致力于高可靠硅基集成电路和新型特种功率器件工艺、设计和封测等方面的技术研究与开发。 

  目标:

  成为国内高可靠集成电路技术、新型特种功率器件技术和纳米工艺与器件在片评估技术的引领者。 

  研究方向

  高可靠高密度集成电路技术、新一代高可靠功率器件技术、纳米工艺与器件在片评估技术;高可靠器件模型和数值仿真基础技术、新材料、新结构和新工艺集成电路可靠性加固技术、新材料、新结构功率器加固技术、器件综合应力场下退化特性评估技术。 

 

 

 

 

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