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UNIFORMITY 均匀度
2014-04-11 | 编辑: | 【 【打印】【关闭】

  均匀度Uniformity是一种测量值的平均分布。藉以表示芯片内各测量点的数值或是芯片与芯片间其测量值的变化。在IC制程中,常用以表示薄膜厚度,线宽(C.D)在整片芯片内或芯片间的分布。其表示方法如下:如测量芯片内上中下左右与5点数据,5点平均值。X=X1+X2+X3+X4+X5/5均匀度Uniformity=X m a x-X m 1m/2X×100﹪例如测量T0x厚度共五点分布如下:510、525、540、515、520?则均匀度=540-510/2×522(平均值)×100﹪=2.8﹪均匀度越小,表示各点变化越小。亦即表示芯片制程品质较佳,也是制程能力越好的表现

  



 
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