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YELLOW ROOM 黄光室
2014-04-11 | 编辑: | 【 【打印】【关闭】

   黄光室(Yellow Room)就是所有光源(照明用)均为黄色光波波长者之区域。由于IC晶方内之图案均有赖光阻剂(Photo resist)覆盖在芯片上,再经曝光,显影而定型;而此光阻剂遇光线照射,尤其是紫外线(UV)即有曝光之效果,因此在显影完毕以前之生产,均宜远离此类光源。黄光之光波较长,使光阻剂曝光之效果很低,因此乃作为显影前之照明光源。

  



 
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