论文编号: 1725110120160239
第一作者所在部门:
论文题目: Investigation of N type metal TiAlC by thermal atomic layer deposition using TiCl4 and TEA as precursors
论文题目英文:
作者: 项金娟
论文出处:
刊物名称: ECS Journal of Solid State Science and Technology
: 2016
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: 299
联系作者: 赵超
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