论文编号: 1725110120160153
第一作者所在部门:
论文题目: Simulation and fabrication of thin film bulk acoustic wave resonator
论文题目英文:
作者: 韩茜茜
论文出处:
刊物名称: Journal of Semiconductors
: 2016
: 37
: 7
: 074009-1
联系作者: 欧毅
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