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  • 姓名: 李志华
  • 性别: 男
  • 职称: 研究员
  • 职务: 课题组负责人
  • 学历: 博士研究生
  • 电话: 18614014988
  • 传真: 
  • 电子邮件: lizhihua@ime.ac.cn
  • 所属部门: 先导中心 光子器件与集成技术部
  • 通讯地址: 北京市朝阳区北土城西路3号

    简  历:

  • 教育背景

    2002.9–2006.6中科院物理所凝聚态物理理学博士

    1999.9–2002.7中南大学材料科学与工程工学硕士

    1994.9–1998.7中南大学材料科学与工程工学学士

    工作简历

    2006年加入中科院微电子研究所,从事光互连技术及先进封装技术的研究;

    2011-2012获中科院公派留学美国乔治亚理工学院从事RoF研究工作;

    2013双跨至华进半导体公司,负责先进封装测试技术研发;

    2015年8月加入微电子所先导中心,负责微电子所硅光子平台技术的研发,基于微电子所CMOS工艺线开发了成套硅光子工艺库、器件库以及PDK,于2017年5月发布了国内第一个8英寸硅光子平台,并开展面向国内外硅光子研究和产品开发的MPW流片服务和定制化工艺服务,致力于建立世界一流的硅光子工艺平台。

    社会任职:

    研究方向:

  • 硅光子技术

    承担科研项目情况:

  • 国家863课题“高速芯片之间光互连技术与试验平台”,已完成

    国家重大专项子课题 “封装基板核心技术研发” ,已完成

    国家重大专项任务 “硅基光互连后道工艺及耦合封装技术研究” ,在研

    中科院集成电路创新院项目“无人驾驶汽车用光子集成激光雷达”,在研

    代表论著:

  • 1. B. Li, B. Tang, P. Zhang, J. Yu, X. Liu, and Z. Li, "Optimized fabrication of wafer-level Si waveguides based on 200?mm CMOS platform," Optik 172, 777-782 (2018).

    2. 刘若男, 李志华, 李彬, 唐波, 张鹏, 余金中, and 吴次南, "硅基狭缝脊形波导的几何尺寸对光场分布的影响," 电子科技 31, 55-59 (2018).

    3. 刘道群, 李志华, 冯俊波, 唐波, 张鹏, and 王桂磊, "高性能波导集成型锗pin光电探测器的制备," 微纳电子技术 55, 305-311 (2018).

    4. Zhihua Li, Jiang Yan,Bo Tang, et al. "Silicon photonics process development based on a 200-mm CMOS platform",Proc. SPIE 10027, Nanophotonics and Micro/Nano Optics III, 1002706 (October, 2016); doi:10.1117/12.2245513.

    专利申请:

  • “一种多路并行光电模块装配方法” 授权公告号: CN101907753B

    “一种接收有源区位于斜面上的光电探测器的制造方法” 授权公告号: CN 101383388B

    “一种斜面光接收的光电探测器” 授权公告号: CN 100544039 B

    “一种光电互联装置及其装配方法” 授权公告号: CN104216077B

    获奖及荣誉:

  • 2017年度微电子研究所科研成果奖二等奖

    2017年度微电子所“先进工作者”