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  • 姓名: 李璟
  • 性别: 女
  • 职称: 研究员
  • 职务: 主任
  • 学历: 博士
  • 电话: 
  • 传真: 
  • 电子邮件: lijing2018@ime.ac.cn
  • 所属部门: 光刻技术总体部
  • 通讯地址: 北京市朝阳区北土城西路3号

    简  历:

  • 教育背景

    1998.09-2002.08 东南大学(原南京工学院)数学力学系,理学学士

    2002.10-2004.08 荷兰莱顿大学高等计算机科学研究院,理学硕士

    2004.09-2006.09 荷兰埃因霍芬理工大学工业工程应用研究院,工学博士

    2006.09-2010.09 荷兰埃因霍芬理工大学数学与计算机学院,理学博士

    工作简历

    2019.06-至今 中国科学院微电子研究所,研究员博士生导师,光刻技术总体部主任 

    社会任职:

    研究方向:

  • 光刻技术、精密测量控制技术、系统控制与集成

    承担科研项目情况:

    代表论著:

    专利申请:

    获奖及荣誉: