教育背景
1996 - 2000,清华大学,本科
2004 - 2008,加州大学圣迭戈分校,博士
工作简历
2017.7-2018.10, 中科院光电研究院,研究员
2018.11 – 今,中科院微电子所,正高级工程师
目前从事大型复杂高精度激光器和科学检测仪器的研发设计,涉及光刻曝光光源,工业准分子光源,固体检测光源,生物检测设备等。承担多项国家重大专项项目与课题,涉及经费超过5亿元。
目前研究涵盖四个方向:
1. 大功率激光器与深紫外光学系统设计与研究:涉及大功率激光器的理论应用研究以及工程化设计,深紫外光学系统设计,深紫外探测与测量等;
2. 高重频电磁脉冲系统研究与设计:涉及高重频下磁脉冲压缩开关抖动特性研究,超高精度电容谐振充电技术研究等;
3. 激光器控制系统的设计与研究:涉及系统工程理论研究,复杂精密激光器控制系统设计,控制系统可靠性与稳定性科学分析方法研究,深度学习,强化学习等智能算法在激光器参数控制,气体寿命控制等领域的研究。
4. 准分子激光器材料特性研究:涉及高重频强电场下的电极与陶瓷材料特性、面型设计与工艺研究,准分子激光器在微纳加工领域的应用等。
人才队伍