专利名称: 应力匹配的双材料微悬臂梁的制造方法
专利类别: 发明专利
申请号: 201210024934.X
申请日期: 2012-02-06
专利号: 201210024934.X
第一发明人: 尚海平;焦斌斌;刘瑞文;陈大鹏;李志刚;卢狄克
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况: 授权
专利证书号: 201210024934.X
专利摘要:
其它备注: 先导中心