专利名称: 半导体器件制造方法
专利类别: 发明专利
申请号: 201210140207.X
申请日期: 2012-05-08
专利号: 201210140207.X
第一发明人: 尹海洲;张珂珂
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况: 授权
专利证书号: 201210140207.X
专利摘要:
其它备注: 十室