专利名称: 半导体器件制造方法
专利类别: 国际专利
申请号: PCT/CN2012/078837
申请日期: 2012-07-18
专利号: 9,425,288
第一发明人: 钟汇才;梁擎擎;赵超
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况: 授权
专利证书号: 9,425,288
专利摘要:
其它备注: 十室