--中国科学院微电子研究所

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获奖题目:
获奖编号:
获奖时间:	2007年
获奖名称:	90-65纳米极大规模集成电路大生产关键技术研究
主要完成人:	徐秋霞、叶甜春
完成单位:	北京大学、中芯国际、浙江大学、西安电子科技大学、中科院微电子所、清华大学
成果介绍:
获奖类别:	2007年教育部科学技术一等奖
获奖等级:
授奖部门:
开始日期:
结束日期:
登记人: