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获奖题目:
获奖编号:
获奖时间: 2005年
获奖名称: 亚30纳米CMOS器件相关的若干关键工艺技术研究
主要完成人: 徐秋霞 钱鹤 韩郑生 刘明 陈宝钦 叶甜春
完成单位: 微电子中心
成果介绍:
获奖类别: 2005年国家技术发明二等奖
获奖等级:
授奖部门:
开始日期:
结束日期:
登记人:
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