获奖题目:
获奖编号:
获奖时间: 2005年
获奖名称: 高性能栅长27纳米 CMOS器件及关键工艺技术研究
主要完成人: 徐秋霞 钱 鹤 韩郑生 刘 明 陈宝钦 叶甜春 夏 洋 赵玉印 侯瑞兵 李俊峰 周小茵 高文方
完成单位: 微电子中心
成果介绍:
获奖类别: 2005年北京市科学技术一等奖
获奖等级:
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开始日期:
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