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获奖题目:
获奖编号:
获奖时间: 2004年
获奖名称: 先进的深亚微米工艺技术及新型器件
主要完成人: 吴德馨 刘训春 叶甜春 谢常青 陈大鹏 郑英奎 魏 珂 李 兵 汪锁发 刘 明 曹振亚 陈宝钦 刘晓伟 胥兴才 赵知夷
完成单位: 微电子中心
成果介绍:
获奖类别: 2004年北京市科学技术一等奖
获奖等级:
授奖部门:
开始日期:
结束日期:
登记人:
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