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获奖题目:
获奖编号:
获奖时间: 1994年
获奖名称: 实用分布重复投影光刻机
主要完成人: 微电子中心
完成单位: 微电子中心
成果介绍:
获奖类别: 1994年电子部93年电子十大科技成果奖
获奖等级:
授奖部门:
开始日期:
结束日期:
登记人:
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