获奖题目:
获奖编号:
获奖时间: 1990年
获奖名称: 1微米LSI中TiSi2TaSi2/N+多晶硅复合结构RIE腐蚀研究
主要完成人: 徐秋霞 周锁京 赵玉印 冯淑敏
完成单位: 微电子中心
成果介绍:
获奖类别: 1990年,院科技进步三等奖
获奖等级:
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开始日期:
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