--中国科学院微电子研究所

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获奖题目:
获奖编号:
获奖时间:	1990年
获奖名称:	FD-2型RIE通用刻蚀机刻蚀机研制与超精细图形刻蚀工艺研究
主要完成人:	高士平徐维江岳惠武程秀玲石西增
完成单位:	微电子中心
成果介绍:
获奖类别:	1990年中国科学院科技进步二等奖
获奖等级:
授奖部门:
开始日期:
结束日期:
登记人: