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获奖题目:
获奖编号:
获奖时间: 1988年
获奖名称: 0.5微米粒子10个/英尺3装配式洁净室
主要完成人: 河北工学院、微电子中心
完成单位: 河北工学院、微电子中心
成果介绍:
获奖类别: 国家计委国家科技成果奖
获奖等级:
授奖部门:
开始日期:
结束日期:
登记人:
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