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发现科学之美

稿件来源：责任编辑：发布时间：2020-08-06

作者信息：硅器件中心孙澎
图片描述：本作品为拍晶圆横截面所形成的图片，VDMOS器件性能好坏，很大程度上取决于它的微观结构，通过扫描电子显微镜看到其横断面微观结构，包括垂直几何结构、双扩散工艺、多晶硅栅结构、单胞由结构等。
成像设备：台式电子扫描显微镜
图像处理软件：JCM-6000