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发现科学之美

超薄之美

稿件来源: 责任编辑: 发布时间:2020-08-06


 

  • 作者信息:中国科学院微电子研究所-超薄之美-郜晨希- 15652369004 

  • 图片描述:本作品显示的是半导体设备中最常用的零配件—薄膜式电容真空计爆炸渲染图。薄膜式电容真空计是国外封锁中国的产品,直径影响国内半导体设备的发展。图片为我们国内自主研发的真空计,其需要15um厚的超薄超硬低膨胀合金膜片作为核心敏感元件,并配备不同厚度的超薄导气垫圈,密封在高达的真空环境中并保压10年以上。从材料研制到超薄金属微加工,再到封装,其难度就如同图中层层垫圈一样,每一圈都是一个脚印,一步一步突破封锁。 

  • 图片处理软件名称:SolidworksKeyshot 

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