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微电子所团委、青促会联合举办《集成电路制造设备》学术报告会

稿件来源: 责任编辑: 发布时间:2013-11-04

  10月25日,微电子所团委、青促会联合举办了微电子所“岗位大练兵暨第二届青年技术能手大赛”系列活动学术报告会,邀请微电子所微电子设备技术研究室主任夏洋研究员作《集成电路制造设备》学术报告,100余名青年职工及学生参加了报告会。报告会由所团委书记武锦主持。 

  夏洋研究员在报告中由浅入深、由表及里地介绍了我国集成电路制造设备研究的进展及特点,并对32nm以下集成电路新原理装备研究(曝光、刻蚀、薄膜生长、清洗等技术)和科研装备的产业化等问题进行了分析。报告不仅从专业角度对各种集成电路制造设备的工作原理予以详解,同时还贯穿以生动的例子讲述如何在科研中培养创新能力、思路等问题,使在座青年职工和学生都受益匪浅,从中获得了科研创新的新灵感。 

  此次报告会是微电子“岗位大练兵暨第二届青年技术能手大赛”系列活动之一,所团委还将围绕技术能手大赛活动举办相关培训和讲座,给予广大青年职工、学生在科研工作和学习上的帮助。 

 

  夏洋研究员作报告 

 

  报告会现场 

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