刘涛

　　姓名： 刘涛

　　性别： 男

　　职称： 副研究员

　　学历： 博士电

　　电子邮件： liutao@ime.ac.cn 

　　通讯地址： 北京市朝阳区北土城西路3号

　　简　　历：

　　教育背景：

　　美国佛罗里达国际大学电子工程系，摩托罗拉纳米工程中心，光学博士。（2009年）

　　中国科学技术大学物理系，物理学学士。（2003年）

　　工作简历：

　　中国科学院微电子研究所微电子仪器设备研发中心, 副研究员。（2010年-）

　　社会任职：

　　深圳中科飞测科技有限公司，总监。（2015年-2018年）

　　研究方向：

　　专注于纳米尺度物质的结构测量及物性表征方法研究，及相关仪器的系统级研发。

　　1. 科研方向：

　　1）新型扫描探针测量。

　　2）超宽频带偏振光谱测量

　　3）光学散射表征技术。

　　4）光学干涉及三维结构测量。

　　5）新型纳米光学器件。

　　2. 应用方向：

　　1）超衍射空间分辨率的物性表征。

　　2）微纳结构三维形貌测量（周期性结构/非周期性结构）。

　　3）微纳薄膜结构测量和物性表征。

　　4）晶圆表面缺陷及污染的检测。

　　获奖及荣誉：

　　学术论文20余篇，引用300余次；获得和申请发明专利50余项，美国2项；著作章节1项。