所况介绍
中国科学院微电子研究所（以下简称“微电子所” ）成立于1958年，是我国微电子科学技术与集成电路领域的重要研发机构。微电子所是国务院学位委员会批准的博士、硕士学位授予权单位之一，是中国科学院大学集成电路学院主承办单位，现设有集成电路科学与工程、电子科学...
所长、党委书记：戴博伟 党委副书记、纪委书记：谢光锋 副所长：曹立强 副所长：李泠 副所长：罗军
机构设置
科研工作
人才队伍
研究生教育
党建与创新文化
科学普及
成果转化与产业化
信息公开
Si Interposer工艺
TSV 制造技术
双面RDL & bumping技术
晶圆减薄及背面露孔技术
临时键合及拆键合技术(TBDB)
Si Interposer正面工艺能力
10 x 100um TSV无孔洞填充
最小40um节距微凸点
2层RDL再布线Routing结构
最小10um/15um线宽线距再布线
Si Interposer背面工艺能力
低成本TSV露头和背面互连引出技术
系统封装与集成研发中心