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年鉴

2019年年鉴

稿件来源: 发布时间:2019-06-10

  中国科学院微电子研究所(以下简称微电子所)的前身——原中国科学院109厂成立于1958年。1986年,109厂与中国科学院半导体研究所、计算技术研究所有关研制大规模集成电路部分合并为中国科学院微电子中心。20039月,正式更名为中国科学院微电子研究所。      

  微电子所的战略定位是:中国微电子技术创新的引领者和产业发展的推动者。 

  微电子所是国内微电子领域学科方向布局最完整的综合研究与开发机构,是中国科学院EDA中心、中国科学院物联网研究发展中心的依托单位,是国家科技重大专项集成电路装备及工艺前瞻性研发牵头组织单位,是中国科学院大学微电子学院(国家示范性微电子学院)的依托单位,是中国科学院集成电路创新研究院的筹建依托单位。现拥有2个基础研究类中国科学院重点实验室(微电子器件与集成技术重点实验室、硅器件技术重点实验室),4个行业服务类研发中心(中国科学院EDA中心、集成电路先导技术研发中心、系统封装与集成研发中心、中科新芯三维存储器研发中心),7个行业应用类研发中心(通信与信息工程研发中心、新能源汽车电子研发中心、健康电子研发中心、智能感知研发中心、智能制造电子研发中心、智能电子系统研发中心、电磁信息智能应用研究中心),3个核心产品类研发中心(硅器件与集成研发中心、高频高压器件与集成研发中心、微电子仪器设备研发中心)。  

  截至2018年底,微电子所共有在职职工1091人。其中科技人员705人、科技支撑人员276人,包括中国科学院院士1人、发展中国家科学院院士1人、研究员及正高级工程技术人员115人、副研究员及高级工程技术人员297

  微电子所是国务院学位委员会批准的博士学位(19965月获批)、硕士学位(199011月获批)授予权单位之一,现设有电子科学与技术、光学工程两个一级学科,其中电子科学与技术下设“微电子学与固体电子学”(2011年获批中国科学院重点学科)、“电路与系统”两个二级学科;设有硕士、博士研究生培养点和“电子科学与技术”一级学科博士后流动站,拥有集成电路工程电子与通信工程两个工程硕士培养点。截至2018年底,共有在学研究生889名,其中微电子所456名(博士生233人、硕士生223人),微电子学院433名,此外在站博士21人。 

  2018年,微电子所共有在研项目391项(包括新增项目118项)。其中,主持(或承担)国家自然科学基金重点项目14项(新增3项)、杰出青年基金项目2项(新增1项)、其他类型项目77项(新增28项);主持或承担国家重大科技专项27项(新增8项)、重点研发计划52项(新增9项);主持或承担中科院STS项目9项(新增3项)、先导专项9项(新增6项)、其他院项目52项(新增21项);主持或承担高技术项目110项(新增24项);主持或承担其他民口项目39项(新增17项)。 

  2018年,获得中国标准创新贡献奖1项,省部级奖6项。其中,“集成电路IP核通用要求”获2018年度中国标准创新贡献奖、“新型存储器件及集成研究集体”获得2018年度中国科学院杰出科技成就奖、“以硅通孔为核心的三维系统集成技术及应用”获得2018年度北京市科学技术奖二等奖、“28nm及特色先导工艺集成电路设计产业化关键技术与应用”获得2018年度北京市科学技术奖三等奖、“28nm及先导工艺集成电路可制造性设计关键技术与应用”获得2018年度中国电子学会科学技术奖技术发明类二等奖、SiC电力电子器件关键技术及应用”获得2018年度中国电子学会科学技术奖技术发明类三等奖、射频功率放大器芯片关键技术及应用”获得2018年度中国电子学会科学技术奖科技进步类三等奖2018年共发表论文394篇,其中SCI论文214篇,EI论文113篇,论文总影响因子614.0912,申请专利344项,专利授权332项,出版专著9部,登记软件著作权2项。 

  2018年,微电子所在国际著名刊物上发表的达到国内外先进水平的重大成果或阶段性重大进展的项目及主要贡献有:1. 5纳米及以下先导工艺关键技术上取得重要进展,环栅纳米线(GAA)器件获得亚阈值特性SS = 61.86 mV/decDIBL = 6.5 mV/V,电流开关比大于1*108,达国际先进水平;开展1.5纳米以下垂直纳米线器件及关键工艺研究,实现领先国际的专利布局。2. 与长江存储(原武汉新芯)合作研发323D-NAND闪存产品并量产,完成643D-NAND芯片的设计和流片验证。3. 成功开发多功能埋入集成技术、实现多种异质元器件的系统级埋入,实现以TSV为核心的三维集成,达到国际先进水平。4. 自动分拣系统突破核心算法、系统软件、专用芯片、关键部件等技术瓶颈,分拣效率达7.2万件/小时,销售收入超6亿元,并获得中科院“弘光专项”的支持;与江西绿萌联合开发了果蔬分选系统,获2018年“智能农机装备专项”重点研发计划支持。5.其他创新成果有:(1在新型存储技术方面实现高性能阻变存储器(RRAM)的基础理论和关键技术方法,开发了28纳米嵌入式RRAM芯片,实现了8层堆叠RRAM的三维集成阵列,达到国际领先水平。2基于HfZrO2铁电材料的FinFET结构1T DRAM,实现了1012以上20纳秒量级的快速擦写,以及85°C104秒的长时间保持,研究成果入选2018年度国际电子器件大会(IEDM)。(3研制出自主知识产权的国内综合指标最高的3Gsps 12bit ADC国产芯片和业内领先的8Gsps 14bit DAC国产芯片,在中船723所和中电29所等单位进行应用验证,并开始批量供货。4实现了对肿瘤细胞的分选与单细胞分析;在国内率先开展智能化中医辅助诊疗设备及数据平台研究,完成中医装备开发和平台建设;构建了主动健康与智能养老平台,和华西医院合作,在成都市部分社区实现了示范应用。(5研制成功国内首台原位可控掺杂的等离子体原子层沉积系统,并在国内多家科研教学机构中应用。 

  截至2018年底,微电子所孵化培育企业118家,涉及专职从事技术转移工作人员136人,累计股权作价金额投达8.05亿元,微电子所对外投资知识产权共计421项,吸引社会投资45.19亿元,实施股权奖励6355.8万元,企业资产规模达112.84亿元;共建各类联合实验室35个,分所2个,分部2个,院级平台1个,产业研究院2个,创新研究院分院3个,战略合作伙伴50余家,正在募集的产业基金资金规模超过100亿。 

  2018, 微电子所共接待来访2772人次,因公出访91团组150人次。 

  2018年,中国科学院EDA中心取得了丰硕的成果:在高效大版图数据处理技术、基于物理知识库的版图设计方法等研发方向形成了显著的研究特色和技术优势,相关成果荣获北京市科学技术三等奖;推出自主研发的先进纳米工艺可制造性设计解决方案,相关成果荣获中国电子学会科学技术奖二等奖。2018年,中科院EDA中心服务院内10家理事单位,提供EDA软件License服务,服务主机总数132台,服务用户数300多人次,年使用时间229万小时,数据拷贝量>160G;快速加工和共性技术服务业务持续增长,本年完成65个流片班次、62个封装批次,搭载芯片项目262个。同时深化院地合作,与青岛市崂山区政府、曙光信息产业股份有限公司合作共建青岛EDA中心;EDA中心的电子系统与芯片设计一站式共性技术服务平台创新成果服务行业,荣获2018年度“集成电路产业技术创新战略联盟创新奖—产业链合作奖”。 

  2018年,中国科学院物联网研究发展中心(以下简称“物联网中心”)新增纵向项目3项,发明专利新申请7项,软件著作权申请1项,授权专利18项,物联网中心累计孵化投资企业55家,在投项目46家,退出9家,累计投资3.1亿,成功退出1亿,在投项目资产总额达38亿,18年实现收入12亿。在无锡已经形成了初具规模的物联网产业集群。中科微至已成为物流快递行业的高端装备的领先者,2018年签订销售合同5亿元;华进半导体2018年已成功开发出多种先进系统级封装技术,多种成套技术通过国内外主流客户的产品认证;新疆分中心成功中标9.6亿元吐鲁番公共安全防控PPP项目;长虹电子系统成功中标广元智慧城市项目;中科天地已经在平武、石渠、内蒙乌拉特中旗等地区成功运营;泽石科技研发的SSD产品已通过小米、鸿泰等多个客户验证;上海御渡通过与日本爱德万合作,成功量产了高端测试设备;中科灵动公司的无人机已获得新疆中通服3000万订单。物联网中心牵头筹建国家级物联网创新中心。 

  20179月经院长办公会批准筹建中国科学院集成电路创新研究院(简称“创新研究院”),依托微电子所建设。一年来,创新研究院各项筹建工作按建设规划稳步推进,建立了运行机制和配套管理制度,完成了领导班子、业务单元、人才队伍深入融合等。20181228日,创新研究院第一届理事会第一次会议召开,相里斌副院长出席会议。 

  微电子所是集成电路产业技术创新战略联盟秘书处、集成电路测试仪器与装备产业技术创新联盟秘书处、示范性微电子学院产学融合发展联盟秘书处、全国半导体设备与材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会秘书处、全国纳米技术标准化技术委员会微纳加工技术工作组秘书处、北京电子学会半导体专业技术委员会制版(光掩模制造)分技术委员会秘书处、全域科研院所科技成果转化联盟秘书处挂靠单位。  

    

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