中国科学院微电子研究所(以下简称“微电子所”)的前身——原中国科学院109厂成立于1958年。1986年,109厂与中国科学院半导体研究所、计算技术研究所有关研制大规模集成电路部分合并为中国科学院微电子中心。2003年9月,正式更名为中国科学院微电子研究所。
微电子所的战略定位是:中国微电子技术创新的引领者和产业发展的推动者。
微电子所是国内微电子领域学科方向布局最完整的综合研究与开发机构,是中国科学院EDA中心、中国科学院物联网研究发展中心的依托单位,是国家科技重大专项集成电路装备及工艺前瞻性研发牵头组织单位,是中国科学院大学微电子学院(国家示范性微电子学院)的依托单位,是中国科学院集成电路创新研究院的筹建依托单位。现拥有2个基础研究类中国科学院重点实验室(微电子器件与集成技术重点实验室、硅器件技术重点实验室),5个行业服务类研发中心(中国科学院EDA中心、集成电路先导技术研发中心、系统封装与集成研发中心、中科新芯三维存储器研发中心、光刻总体部),7个行业应用类研发中心(通信与信息工程研发中心、新能源汽车电子研发中心、健康电子研发中心、智能感知研发中心、智能制造电子研发中心、智能电子系统研发中心、电磁信息智能应用研究中心),4个核心产品类研发中心(硅器件与集成研发中心、高频高压器件与集成研发中心、微电子仪器设备研发中心、光电研发中心)。
截至2019年底,微电子所共有在职职工1120人。其中科技人员746人、科技支撑人员281人,包括中国科学院院士2人、发展中国家科学院院士1人、国际欧亚科学院院士1人、研究员及正高级工程技术人员135人、副研究员及高级工程技术人员319人。
微电子所是国务院学位委员会批准的博士学位(1996年5月获批)、硕士学位(1990年11月获批)授予权单位之一,现设有电子科学与技术、光学工程两个一级学科,其中电子科学与技术下设“微电子学与固体电子学”(2011年获批中国科学院重点学科)、“电路与系统”两个二级学科;设有硕士、博士研究生培养点和“电子科学与技术”一级学科博士后流动站,拥有“集成电路工程”、“电子与通信工程”“光学工程”三个工程硕士培养点。截至2019年底,共有在学研究生1071名,其中微电子所619名(博士生302人、硕士生317人),微电子学院452名,此外在站博士后28人。
2019年,微电子所共有在研项目418项(包括新增项目166项)。包括,主持(或承担)国家自然科学基金、杰出青年基金、国家重大科技专项、重点研发计划等项目;主持或承担中科院STS项目、先导专项、弘光专项、重点部署项目等。
2019年,获得省部级奖4项。其中,“高电流密度SiC电力电子器件关键技术及应用”获2019年度北京市科学技术奖二等奖、“物流智能分拣装备系统研发及产业化应用团队”获得2019年度中国科学院科技促进发展奖、“中国科学院微电子研究所集成电路核心技术创新团队”获得2019年度中国电子学会科学技术奖-中国电子信息科技创新团队、“InP基毫米波、太赫兹固态电子器件与电路”获得2019年度前沿科技创新专项奖二等奖。2019年共发表论文422篇,其中SCI论文239篇,EI论文110篇,论文总影响因子830.2697,申请专利548项,专利授权328项,出版专著8部,登记软件著作权6项,集成电路设计布图3项。
2019年,微电子所在国际著名刊物上发表的达到国内外先进水平的重大成果或阶段性重大进展的项目及主要贡献有:1. 针对3纳米及以下节点高性能/低功耗的技术挑战,在负电容FinFET器件等前沿技术研究上取得重要进展。2. 与长江存储科技有限责任公司联合研制出128层3D NAND初样产品芯片。3. 研制出处理器与存储器的3D异质集成技术,为未来进行HBM/GPU/HPC等多芯片堆叠集成的产品应用提供技术储备和技术支持。4. 智能物流分拣系统突破系列核心技术,完成产品安装超250套,累计签订销售合同超15亿元,市场占有率国内第一,完成海外订单2000万美元。5.其他创新成果有:(1)基于新型铪基铁电材料、提出了超低功耗的电场可编程二极管,实现了二值神经网络应用;开发了铪基铁电负电容晶体管的紧凑模型,成功嵌入电路仿真软件。(2)与天河超级计算机、华大九天合作解决了EDA工具仿真精确度和计算复杂度问题。(3)研发L4级智能驾驶方案,取得重要进展。(4)研制出高精度脉搏波传感器、多通道脉搏波模拟前端芯片、数字预处理芯片等核心芯片,开发了中医脉诊仪系列样机和舌诊仪。
推进集成电路创新研究院建设,建立了运行机制和管理制度;完成了原光电研究院团队与微电子所团队的在项目、资产、知识产权等方面的融合;自主部署项目12项,组织策划了B类先导专项“存算一体基础器件与系统前沿科学”、C类先导专项“集成电路先进制造关键技术”等重大项目;在粤港澳大湾区设立了大湾区集成电路与系统研究院、香港研究院、澳门研究院,建立了中国科学院集成电路创新研究院青岛研发基地。
截至2019年底,微电子所(包括下属平台)以技术转移为主孵化培育企业168家,累计股权作价金额达18.38亿元,微电子所对外投资知识产权共计622项,吸引社会投资69.19亿元,实施股权奖励7980.8万元,企业资产规模达165.51亿元;共建各类联合实验室35个,分所2个,分部2个,院级平台2个,产业研究院3个,创新研究院分院4个,战略合作伙伴50余家,参与管理数支产业风险投资基金。
2019年, 微电子所共接待来访34批111人次,因公出访115团组221人次。
2019年,中国科学院EDA中心在完成作为院级芯片设计共性技术服务平台支撑任务的同时,积极探索建立产学研深度融合的创新技术平台,实现从“共性技术服务平台”到“共性技术创新平台”的转变和提升。利用云计算平台开发云上研发的芯片设计功能及相关技术的探索,并与平头哥、紫光云、华为、华大九天等行业龙头企业开展合作,提供EDA云化的相关基础技术;中心发挥自身的技术和资源优势精准服务地方产业:支持鹏城实验室开展计算机技术领域的研发、支持青岛歌尔智能语音交互系统研发、组织召开2019中国集成电路设计大会、推广创新券支持服务京区小微企业。2019年,EDA中心依托高性能计算集群及自研软件管理系统,服务院内十几家会员单位开展从新技术、新器件、工艺到新架构AI芯片研发,支持重大科研项目研究,提供EDA软件License服务,服务主机总数达70台,服务用户数145人次左右,年使用时间296万小时,数据拷贝量>1T;完成服务芯片项目364个,共交付芯片41500余颗;在为院内20多家用户单位提供各类工具培训、学术交流11场,参加学员300余人次。
2019年,中国科学院物联网研究发展中心在研各类纵向项目11项,发明专利新申请18项,软件著作权授权1项,授权发明专利12项。新增布局数字孪生实验室、核心体系协同创新中心、MEMS产品研发中心及物联网金融应用平台四个研发方向,与江苏省交通厅共同打造“云河工程”智慧航运项目。截止2019年12月,物联网中心累计孵化企业64家,投资金额4.7亿,在投项目53家,退出11家,在投项目资产总额达38亿,企业年产值超30亿。2019年,中科物联组建中科爱思开智能制造基金、专项产业基金。牵头发起设立了注册资本21.1亿元的无锡锡产微芯半导体有限公司,并正式落户无锡高新区。中科微至智能制造公司已成为物流快递行业的高端装备领先者,年收入达8亿元;泽石科技推出国内首款采用64层3DTLC工业级宽温SSD产品,并成功进入小米等龙头用户的产品生态。
微电子所是集成电路产业技术创新联盟秘书处、集成电路测试仪器与装备产业技术创新联盟秘书处、示范性微电子学院产学融合发展联盟秘书处、全国半导体设备与材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会秘书处、全国纳米技术标准化技术委员会微纳加工技术工作组秘书处、北京电子学会半导体专业技术委员会制版(光掩模制造)分技术委员会秘书处、全域科研院所科技成果转化联盟秘书处挂靠单位。
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