2021年年鉴

　　中国科学院微电子研究所（以下简称“微电子所”）的前身——原中国科学院109厂成立于1958年。1986年，109厂与中国科学院半导体研究所、计算技术研究所有关研制大规模集成电路部分合并为中国科学院微电子中心。2003年9月，正式更名为中国科学院微电子研究所。 

　　微电子所的战略定位是：中国微电子技术创新的引领者和产业发展的推动者。 

　　微电子所是国内微电子领域学科方向布局最完整的综合研究与开发机构，是国家科技重大专项集成电路装备及工艺前瞻性研发牵头组织单位，是中国科学院大学微电子学院（国家示范性微电子学院）的依托单位，是中国科学院集成电路创新研究院的筹建依托单位。 

　　2020年，随着微电子所“一三五”规划实施，创新“2020”相关目标及“率先行动”计划落实取得了突破性进展，主要包括：1、3-1纳米4层堆叠Si和SiGe沟道GAA器件参数达国际一流、垂直沟道GAA器件实现原始创新。2、在新型存储器与集成，显示驱动电路模型及新材料晶体管取得突破性进展，获得获得“率先行动”第一阶段59项代表成果之一。3、面向高可靠用高密度存储器件发展需求，研制出8层堆叠立体集成大容量存储器样机。4、开发了机场行李处理和自动化立体仓库系统，建设完善了智能物流装备产品体系，安装成套智能物流系统超100套，签订合同金额15亿元。5、完成28nm浸没光刻机曝光光源10mJ@4KHz工程样机交付整机使用及15mJ@6KHz原理样机研制；深紫外准连续晶圆检测光源工程样机实现小批量制造。6、与长江存储联合研制出128层的1.33Tb的QLC产品，是业界最高速度、最大容量和最高密度的3D NAND产品。7、非接触式体征监测设备与高清无线电子听诊器为2020年新冠疫情防控工作提供支撑并受到CCTV-4的报道。8、模块化碘工质电推进系统技术指标达到国际领先水平，即将首飞。9、毫米波GaN技术取得突破，GaN肖特基二极管已试用于无线传能系统。大电流SiC SBD及MOSFET电力电子器件通过可靠性考核，并进行企业技术转移转。 

　   集成电路创新研究院2020年11月30日完成了验收。 

　　微电子所目前拥有2个基础研究类中国科学院重点实验室（微电子器件与集成技术重点实验室、硅器件技术重点实验室），5个行业服务类研发中心（中国科学院EDA中心、集成电路先导技术研发中心、系统封装与集成研发中心、中科新芯三维存储器研发中心、光刻总体部），7个行业应用类研发中心（通信与信息工程研发中心、新能源汽车电子研发中心、健康电子研发中心、智能感知研发中心、智能制造电子研发中心、智能电子系统研发中心、电磁信息智能应用研究中心），4个核心产品类研发中心（硅器件与集成研发中心、高频高压器件与集成研发中心、微电子仪器设备研发中心、光电研发中心）。  

　　截至2020年底，微电子所共有在职职工1152人。其中科技人员756人、科技支撑人员289人，包括中国科学院院士2人、发展中国家科学院院士1人、国际欧亚科学院院士1人、研究员及正高级工程技术人员150人、副研究员及高级工程技术人员343人。 

　　微电子所是国务院学位委员会批准的博士学位（1996年5月获批）、硕士学位（1990年11月获批）授予权单位之一，现设有电子科学与技术、光学工程两个一级学科，其中电子科学与技术下设“微电子学与固体电子学”（2011年获批中国科学院重点学科）、“电路与系统”两个二级学科；设有硕士、博士研究生培养点和“电子科学与技术”一级学科博士后流动站，拥有“集成电路工程”、“电子与通信工程”“光学工程”三个工程硕士培养点。截至2020年底，共有在学研究生1259名，其中微电子所836名（博士生376人、硕士生460人），微电子学院423名，此外在站博士后42人。 

　　2020年，微电子所共有在研项目500项（包括新增项目167项）。包括，主持（或承担）关键核心攻关项目、国家重点研发计划、国家自然科学基金、先导专项（B类、C类）、弘光专项及高技术项目等国家重大科技项目。 

　　2020年，获得中科院、北京市及社会力量奖项5项。其中，“飞秒激光跟踪测量技术及应用”获中国机械工业科学技术奖技术发明类特等奖、“探测定位系统项目——激光感知与处置系统”获中国光学工程学会科技创新奖技术发明奖一等奖、“新能源汽车电子关键技术研发与产业化团队” 获中科院科技促进发展奖、 “大束流离子注入机装备及工艺研发” 获北京市科学技术奖科技进步奖一等奖（参与）、 “单细胞生物物理/化学特性高通量定量检测方法和仪器”获中国仪器仪表学会科学技术奖技术发明二等奖（参与）。2020年共发表论文536篇，其中SCI论文325篇，EI论文124篇，论文总影响因子1378.8785。申请专利1215项，授权专利286项，登记软件著作权14项，集成电路设计布图2项，注册商标1项，出版专/译著7部。专利转让333项，合同金额2亿元。 

　　截至2020年底，微电子所本部以技术转移为主孵化培育企业98家，累计股权作价金额达9.55亿元，微电子所对外投资知识产权共计718项，吸引社会投资124.26亿元，实施股权奖励1.53亿元，企业资产规模达162.26亿元；共建各类联合实验室5个，与地方共建合作平台15个，其中地方事业单位11个，在地企业4个，战略合作伙伴50余家，参与管理数支产业风险投资基金。 

　　2020年研究所共邀请14位外国专家来华进行技术交流，因公出访3团组6人次，65人在线参加各类国际会议。2020年获批科技部政府间国际科技创新合作重点专项和国际合作伙伴计划等项目，作为理事单位加入中科院曼谷创新合作中心，推动“一带一路”国际科技合作工作。成功组织了第四届国际先进光刻技术研讨会和国际电子封装技术会议。 

　　微电子所是中国集成电路创新联盟秘书处、中国集成电路检测与测试创新联盟秘书处、示范性微电子学院产学融合发展联盟秘书处、全国半导体设备与材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会秘书处、全国纳米技术标准化技术委员会微纳加工技术工作组秘书处、北京电子学会半导体专业技术委员会制版（光掩模制造）分技术委员会秘书处挂靠单位。