论文编号:
第一作者所在部门:
论文题目: T形栅In0.52Al0.48 As/In0.6Ga0.4As MHEMTs功率器件
论文题目英文:
作者: 黎明,张海英,徐静波,付晓君
论文出处:
刊物名称: 《半导体学报》
: 2008
: 29
: 12
: 2331-2334
联系作者: 黎明
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摘要:
利用电子束光刻技术制备了200nm栅长GaAs基T型栅InAlAs/InGaAs MHEMT 器件.该GaAs基MHEMT器件具有优越的直流、高频和功率性能,跨导、饱和漏电流密度、阈值电压、电流增益截止频率和最大振荡频率分别达到510mS/mm, 605mA/mm, -1.8V, 138GHz 和78GHz. 在8GHz下,输入功率为-0.88(2.11)dBm时,输出功率、增益、PAE、输出功率密度分别为14.05(13.79)dBm,14.9(11.68)dB,67.74 (75.1)%,254(239)mW/mm,为进一步研究高性能GaAs基MHEMT功率器件奠定了基础.
英文摘要:
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