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论文题目: 8~20GHz GaAs pin二极管单片单刀双掷开关
论文题目英文:
作者: 吴茹菲,尹军舰,刘会东,张海英
论文出处:
刊物名称: 《半导体学报》
: 2008
: 29
: 10
: 1864-1867
联系作者: 吴茹菲
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摘要:
基于中国科学院微电子研究所的GaAs pin二极管工艺,设计、制作并测试了一种单片单刀双掷开关. 在8~20GHz频段内,开关正向导通时的插入损耗最小值为1.5dB,输入和输出端的回波损耗大于10dB;开关关断状态的隔离度最大值为32dB. 开关的支路采用串联-并联-并联的结构,其中的GaAs pin二极管基区厚为2.5μm. 在1.3V的偏置电压下,正向导通的串联二极管工作电流为7mA.
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