论文编号: TN386
第一作者所在部门: 硅器件与集成技术研究室(一室)
论文题目: 部分耗尽SOI NMOSFET总剂量辐照的最坏偏置
论文题目英文:
作者: 卜建辉;刘梦新;胡爱斌;韩郑生
论文出处:
刊物名称: 半导体技术
: 2009
: 34
: 1
: 4,65-68
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摘要: 通过模拟对ON、OFF、TG三种偏置下PD SOI NMOSFET的总剂量辐照效应进行了研究。模拟发现正沟道的最坏偏置是ON偏置,背沟道的最坏偏置与总剂量有关。当总剂量大时,背沟道的最坏偏置是OFF偏置;当总剂量小时则是TG偏置。而NMOSFET的最坏偏置则取决于起主要作用的是正栅还是背栅。由于辐照产生电子空穴对的过程与电场分布强相关,通过分析不同偏置下电场分布的差异确定最坏偏置的内在机制。
英文摘要:
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