| 论文编号: | TN256 |
| 第一作者所在部门: | 纳米加工与新器件集成技术研究室(三室) |
| 论文题目: | 光子筛的超分辨聚焦特性研究 |
| 论文题目英文: | |
| 作者: | 李亚文;陈军宁;贾佳;朱效立;吴璇;谢常青 |
| 论文出处: | |
| 刊物名称: | 光电工程 |
| 年: | 2009 |
| 卷: | 36 |
| 期: | 3 |
| 页: | 5，130-134 |
| 联系作者: | |
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| 影响因子: | |
| 摘要: | 对光子筛的结构进行了优化设计，通过实验研究了光子筛对355nm激光的聚焦特性，并与传统的聚焦元件波带片进行了比较。首先，使用自行编写的光子筛自动生成宏文件程序，优化设计了光子筛图形；制作了特征尺寸为2μm、适用于355nm激光的聚焦光子筛和波带片；搭建了聚焦光斑的测试光路系统，得到了光子筛和波带片对355nm激光的聚焦光斑。通过比较分析，得出光子筛具有更好的聚焦特性以及旁瓣抑制能力的结论。 |
| 英文摘要: | |
| 外单位作者单位: | |
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