| 论文编号: | TP212 |
| 第一作者所在部门: | 纳米加工与新器件集成技术研究室(三室) |
| 论文题目: | 常见气体声表面波传感器研究进展 |
| 论文题目英文: | |
| 作者: | 李晶晶;李冬梅;赵以贵;柯导明;陈军宁;贾锐 |
| 论文出处: | |
| 刊物名称: | 传感器世界 |
| 年: | 2009 |
| 卷: | |
| 期: | 3 |
| 页: | 5，6--10 |
| 联系作者: | |
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| 摘要: | 声表面波（SAW）气体传感器由于具有响应时间快、灵敏度高、体积小、成本低、稳定性好等特点受到广泛关注。本文侧重从敏感材料方面介绍了用于检测几种常见的有毒气体的声波面波传感器的研究进展。 |
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| 外单位作者单位: | |
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