| 论文编号: | 172511O120100084 |
| 第一作者所在部门: | 八室一组 |
| 论文题目: | 用于释放已粘连MEMS悬臂梁的超临界CO2释放工艺 |
| 论文题目英文: | |
| 作者: | 景玉鹏 |
| 论文出处: | EI收录 |
| 刊物名称: | Journal of Semiconductors |
| 年: | 2010 |
| 卷: | 31 |
| 期: | 10 |
| 页: | (106001)1-4 |
| 联系作者: | |
| 收录类别: | |
| 影响因子: | 0.431 |
| 摘要: | 在湿法腐蚀牺牲层工艺中，由于液体毛细力的作用，MEMS悬臂梁易与衬底粘连从而引起器件失效。本文提出了一套利用超临界CO2释放干燥技术释放已粘连悬臂梁的工艺流程。结合自主研发的超临界CO2半导体工艺平台，深入研究了超临界CO2释放工艺。实验结果表明该超临界CO2释放干燥工艺可以成功释放已粘连的高宽长比MEMS悬臂梁。 |
| 英文摘要: | |
| 外单位作者单位: | |
| 备注: | |
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