高线密度X光透射光栅衍射效率--中国科学院微电子研究所

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论文编号:	172511O120120152
第一作者所在部门:	三室一组
论文题目:	高线密度X光透射光栅衍射效率
论文题目英文:
作者:	谢常青
论文出处:
刊物名称:	强激光与粒子束
年:	2012
卷:	24
期:	10
页:	2347
联系作者:	谢常青
收录类别:
影响因子:	2.878
摘要:
英文摘要:
外单位作者单位:
备注:	SCI收录

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