| 论文编号: | 172511O120120040 |
| 第一作者所在部门: | 八室一组 |
| 论文题目: | 基于混合电极两步键合工艺的阳极键合研究 |
| 论文题目英文: | |
| 作者: | 李超波 |
| 论文出处: | |
| 刊物名称: | Journal of Semiconductors |
| 年: | 2012 |
| 卷: | 33 |
| 期: | 6 |
| 页: | 066001-1 |
| 联系作者: | 李超波 |
| 收录类别: | |
| 影响因子: | 0.977 |
| 摘要: | 提出了一种基于新型混合电极的两步键合工艺。阳极键合工艺是在自行设计的多功能键合系统中完成，分析了不同电极配置对键合时间，键合强度以及键合界面的影响，并详细分析了键合界面和键合强度。借助于新型混合电极结构，能够在15-20min内实现无气泡晶圆级阳极键合，其键合强度高于10MPa。 以上结果表明，该种键合方法有非常好的应用价值，能应用于绝大多数晶圆级MEMS封装。 |
| 英文摘要: | |
| 外单位作者单位: | |
| 备注: | EI收录 |
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