| 论文编号: | 1725110120150338 |
| 第一作者所在部门: | 感知中心 |
| 论文题目: | RESEARCH OF THIN MEMBRANE METAL OXIDE TIO2 GAS SENSOR WITH NANO POLY-SILICON STRUCTURE MADE BY PLASMA IMMERSION ION IMPLANTATION |
| 论文题目英文: | |
| 作者: | |
| 论文出处: | |
| 刊物名称: | CSMNT2015 |
| 年: | 2015 |
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| 期: | 1 |
| 页: | 1-2 |
| 联系作者: | 明安杰 |
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科研产出