论文编号: 1725110120150211
第一作者所在部门: 高频高压中心
论文题目: Comparative Study of AlGaN/GaN HEMTs with LPCVD- and PECVD-SiNx Passivation
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刊物名称: International Conference on CompoundSemiconductor Manufacturing technology
: 1949
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: 30
: 173-176
联系作者: 王鑫华
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