| 论文编号: | 1725110120150101 |
| 第一作者所在部门: | EDA中心 |
| 论文题目: | A Material Removal Rate Model for Aluminum Gate Chemical Mechanical Planarization |
| 论文题目英文: | |
| 作者: | |
| 论文出处: | |
| 刊物名称: | ECS Journal of Solid State Science and Technology |
| 年: | 2015 |
| 卷: | 4 |
| 期: | 3 |
| 页: | P101-P107 |
| 联系作者: | 徐勤志 |
| 收录类别: | |
| 影响因子: | 1.558 |
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| 英文摘要: | |
| 外单位作者单位: | |
| 备注: | |
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