| 论文编号: | 1725110120160246 |
| 第一作者所在部门: | |
| 论文题目: | Gate patterning in 14 nm and beyond nodes: from planar devices to three dimensional Finfet devicesLingkuan |
| 论文题目英文: | |
| 作者: | 孟令款 |
| 论文出处: | |
| 刊物名称: | Applied Surface Science |
| 年: | 2016 |
| 卷: | |
| 期: | 362 |
| 页: | 483 |
| 联系作者: | 孟令款 |
| 收录类别: | |
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