A Novel Nanofabrication Technique of Silicon-Based Nanostructures--中国科学院微电子研究所

科研产出

当前位置首页科研工作科研产出论文

论文编号:	1725110120160245
第一作者所在部门:
论文题目:	A Novel Nanofabrication Technique of Silicon-Based Nanostructures
论文题目英文:
作者:	孟令款
论文出处:
刊物名称:	Nanoscale Research Letters
年:	2016
卷:
期:	11
页:	504
联系作者:	孟令款
收录类别:
影响因子:
摘要:
英文摘要:
外单位作者单位:
备注: