| 专利名称: | 改善易碎基片涂胶工艺的方法 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 02119899.3 |
| 申请日期: | 2002-05-17 |
| 专利号: | CN1459669 |
| 第一发明人: | 张海英 |
| 其它发明人: | |
| 国外申请日期: | |
| 国外申请方式: | |
| 专利授权日期: | |
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| 实施情况: | |
| 专利证书号: | |
| 专利摘要: | 本发明一种改善易碎基片涂胶工艺的方法，包括如下步骤：1)取待涂胶基片，进行清洗，用氮气吹干；2)制作吸气缓冲垫层；3)制作出涂胶缓冲垫层；4)将垫层放置在吸头上，再将待涂胶基片放置在垫层上；5)滴胶，旋转涂胶；6)涂胶结束后，关闭吸气真空开关，从垫层上取下基片；7)送基片至下步工序，结束。 |
| 其它备注: | |
科研产出