| 专利名称: | 一种三角形结构的微悬臂梁传感器及其制作方法 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 200610112552.7 |
| 申请日期: | 2006-08-23 |
| 专利号: | CN101131354 |
| 第一发明人: | 黄钦文 陈大鹏 欧 毅 叶甜春 张春川 李 凯 |
| 其它发明人: | |
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| 专利摘要: | 本发明公开了一种三角形结构的微悬臂梁传感器，该传感器包括：用 于支撑悬臂梁的衬底框架；至少一个固定于衬底框架上的悬臂梁结构；固 定在构成所述悬臂梁结构的两个悬臂梁交叉成锐角端的反光板。本发明同 时公开了一种三角形结构微悬臂梁传感器的制作方法。利用本发明，提高 了测量的精度，在使用光学读出的系统中，使测量结果更加精确，并提高 了成品率，易于实现大规模生产；在生物化学量的测量中，特别是在液体 环境下的测量，可以得到广泛的应用。 |
| 其它备注: | |
科研产出