| 专利名称: | 一种非制冷红外焦平面阵列探测器及其制作方法 |
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| 申请号: | 200610112884.5 |
| 申请日期: | 2006-09-06 |
| 专利号: | CN101140185 |
| 第一发明人: | 陈大鹏 叶甜春 欧 毅 董立军 刘 辉 胥兴才 韩敬东 李超波 焦彬彬 黄庆文 石莎莉 伍小平 张青川 董凤良 熊慎明 |
| 其它发明人: | |
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| 专利摘要: | 本发明公开了一种非制冷红外焦平面阵列探测器，包括：由双层氮化 硅SiNx薄膜分别形成的支撑结构和微反射镜结构，支撑结构同时也作为红 外辐射吸收层，用于吸收红外辐射；微反射镜结构用于与支撑结构形成红 外吸收共振腔，吸收红外辐射，提高支撑结构对于红外辐射的吸收效率， 同时还作为光学读出的反射镜；所述支撑结构和微反射镜结构通过SiNx 材料连接。本发明同时公开了一种非制冷红外焦平面阵列探测器的制作方 法。利用本发明，由于支撑结构同时充当红外辐射吸收层，微反射镜结构 背面金属可以反射红外辐射，所以大大提高支撑膜对于红外辐射的吸收效 率和填充因子。另外，本发明还提高了系统探测极限灵敏度。 |
| 其它备注: | |
科研产出