| 专利名称: | 一种静电推拉式单晶硅梁射频微机电系统开关 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 200710064879.6 |
| 申请日期: | 2007-03-28 |
| 专利号: | CN101276708 |
| 第一发明人: | 刘茂哲 景玉鹏 陈大鹏 欧 毅 叶甜春 |
| 其它发明人: | |
| 国外申请日期: | |
| 国外申请方式: | |
| 专利授权日期: | |
| 缴费情况: | |
| 实施情况: | |
| 专利证书号: | |
| 专利摘要: | 本发明涉及射频微机电系统技术领域，公开了一种静电推拉式单晶硅 梁射频微机电系统开关，包括开关可动部分和开关不可动部分；所述开关 可动部分由SOI的顶层单晶硅形成，在该开关可动部分两端的上侧面分别 有下电极和接触点；所述开关不可动部分与SOI顶层单晶硅固定连接，在 开关不可动部分两端的下侧面与所述开关可动部分下电极对应的位置有 上电极，在开关不可动部分两端的下侧面与所述开关可动部分接触点对应 的位置有传输线；通过分别给两端的上电极和下电极之间加电压，使上电 极与下电极形成推拉式结构，进而接触或断开传输线与接触点，实现开关 动作。利用本发明，降低了驱动电压，增加了开关的寿命，使RF MEMS 产品化成为可能。 |
| 其它备注: | |
科研产出