| 专利名称: | 基于架空金属线桥的微机电系统磁执行器的制作方法 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 200710121075.5 |
| 申请日期: | 2007-08-29 |
| 专利号: | CN101376490 |
| 第一发明人: | 易 亮 欧 毅 陈大鹏 景玉鹏 叶甜春 |
| 其它发明人: | |
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| 专利摘要: | 本发明涉及微机电系统微型执行器技术领域，公开了一种基于架空金 属线桥的微机电系统磁执行器的制作方法，包括：A.在硅芯片上下表面 淀积氮化硅薄膜；B.保护正面，背面光刻，刻蚀形成氮化硅薄膜窗口；C. 正面光刻，刻蚀形成氮化硅薄膜执行器图形；D.正面光刻，打底胶，电 子束蒸发Cr/Au，剥离形成金属线圈及电极；E.正面光刻，打底胶，电 镀金，形成架空金属线桥桥柱；F.正面光刻，打底胶，电子束蒸发Cr/Au， 剥离形成架空金属线桥；G.腐蚀背面体硅，释放执行器。利用本发明， 简化了制作工艺，克服了用于流体控制的微执行器驱动力小、存在应力、 热效应等问题。 |
| 其它备注: | |
科研产出