| 专利名称: | 一种硅基有机发光微显示器件表面银电极的制备方法 |
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| 申请号: | 200810224032.4 |
| 申请日期: | 2008-10-10 |
| 专利号: | CN101393891 |
| 第一发明人: | 黄 苒 夏 洋 杜 寰 赵 毅 王晓慧 韩郑生 潘国顺 |
| 其它发明人: | |
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| 专利摘要: | 本发明涉及硅基有机发光微显示器件制造技术领域，具体涉及一种硅基有 机发光微显示器件表面银电极的制备方法。为了解决现有技术中有机发光微显 示器件表面电极不平整的问题，本发明提供一种硅基有机发光微显示器件表面 银电极的制备方法，在硅基片基底上依次完成内部驱动电路、绝缘层、像素表 面电极下的通孔，然后在整个表面形成一层绝缘层，光刻后进行刻蚀，将像素 区域的绝缘层去除，露出通孔，保留像素间的绝缘层作为隔离墙进行隔离，之 后在表面形成金属银层，进行CMP工艺，直到隔离墙露出，此时像素之间隔 离开。本发明有效的提高了银与绝缘层的黏附性，在CMP工艺时不易脱落； 表面银电极形成大马士革结构，采用CMP工艺提高表面平整度。 |
| 其它备注: | |
科研产出